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一、非晶半导体基本理论非晶态半导体是一门发展极为迅速的新兴学科,是凝聚态物理学中最为活跃的领域之一,已成为材料学科的一个组成部分.大量的事实说明,研究非晶态半导体的意义不仅在技术上能够产生新材料和新器件,而且对于认识固体理论中的许多基本问题也会产生深远的影响.晶态半导体的基本特征是:组成它的原子或分子作周期性排列,叫作长程有序性.基于这样的特征,利用能带理论,使得晶态半导体中的许多物理问题和半导体器件的基本原理得到了比较满意的解决.而非晶态半导体,结构上是一种共价网络,没有周期性排列的约束,所以它在结构上、光学电学性质上很不同于晶态半导体.因此,在应用上也显示了自己的特征,已呈现了巨大的应用前景. 相似文献
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文章回顾了a—Si:H薄膜的发展历程,并介绍了其近10年的研究状况、为提高a—Si:H薄膜的沉积速度,还重点介绍了一种新的微波电子回旋共振等离子体CVD(MWECR—CVD)技术,该技术的特点是:不含电极,可避免电极溅射造成的污染;等离子区离子密度高,对硅烷能高度分解,从而可显著提高薄膜生长速率;改变磁场位形和结构,可改变等离子体分布及轰击基片离子的能量,文章还分析了其制备a—Si:H薄膜存在的问题,提出了今后的研究方向。 相似文献
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介绍了非晶半导体薄膜的结构特点和在光电器件上的独特性能,给出了薄膜器件的发展水平和制膜技术、制膜设备的研究现状。 相似文献
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低压下沉积c-BN薄膜是近年来凝聚态物理和材料科学研究的热门课题之一.我们应用热丝辅助射频等离子体化学气相沉积技术,在多种衬底上沉积了BN薄膜,并系统研究了热丝温度、衬底温度和射频电压等工艺参数对BN薄膜中立方相含量的影响. 相似文献