硅中铜与电子辐照缺陷的相互作用

本文研究了FZ与CZ硅中铜与电子辐照缺陷的相互作用.实验表明,这种作用使扩铜并经电子辐照的n型FZ硅出现两个未经报道的新的深中心,E(0.043)和E(0.396).前者只存在于FZ硅而不存在于CZ硅.后者在扩铜并经电子辐照的n型FZ和CZ硅中都存在.电子辐照再加适当温度的热处理还可电激活硅中的铜,另外,铜的存在还使硅中双空位的退火温度显著地降低.种种实验表明,在硅中与铜有关的六个主要能级分别对应于六种不同结构的深中心,在这些深中心之中既包含铜又包含点缺陷.其中E(0.043)很可能是铜与间隙硅原子的络合物,而E(0.167)及H(0.411)则很可能是铜与空位的不同形态的络合物.     

少子陷阱特性和铍硅共注半绝缘GaAs空穴陷阱

用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）技术测量了高温退火的Ｂｅ和Ｓｉ共注入的ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ（无掺杂）。在多子脉冲作用下的Ａｌ／Ｂｅ－Ｓｉ共注ＬＥＣＳＩＧａＡｓ肖特基势垒中，观测到Ｅ₀₁（０．２９８），Ｅ₀₂（０．３４１），Ｅ₀₃（０．５５５）和Ｅ₀₄（０．８２１）等四个电子陷阱以及两个主要的少子（空穴）陷阱Ｈ＇₀₃（０．５４）和Ｈ″₀₃（０．５７）。两少子陷阱的ＤＬＴＳ信号具有若干特点，比如它们的ＤＬＴＳ·峰难于通过增宽脉冲达到最大高度；以及峰的高度强烈地依赖于温度等。这些现象可以用少子陷阱的少子俘获和热发射理论进行合理地解释。鉴于用ＤＬＴＳ技术测量这种陷阱的困难，我们用恒温电容瞬态技术测定它们的空穴表观激活能分别为０．５４和０．５７ｅＶ。它们是新观测到的和Ｂｅ－Ｓｉ共注ＳＩＧａＡｓ有关缺陷。 关键词：     

用新方法测量Si-SiO2界面态电子俘获截面与温度及能量的关系

本文提出了一个利用载流子填充电容瞬态初始时间变化率,准确测量在绝缘体与半导体界面上的界面态俘获截面的方法,其中考虑了电荷势反馈效应对载流子填充过程的影响,并给出准确计算这种影响的简单方法.将这一方法用于测量n型硅MOS电容器中的Si-SiO₂界面态.结果表明其电子俘获截面强烈地依赖于温度和能量.     

在MOS结构Si-SiO2界面上的一个主界面缺陷

本文用DLTS测量了P型硅MOS结构Si-SiO₂界面的缺陷,发现了一个主界面缺陷H_it(0.503),其特点是:在测量温度范围内,它的平均空穴离化吉布斯自由能ΔG_P≥0.503eV;当栅压使Si-SiO₂界面处Fermi能级与硅价带顶的距离明显小于ΔG_P时,它仍然具有很高的DLTS峰;随着半导体表面电位势的缩小,它的空穴表现激活能明显增大;它对空穴的俘获过程造成合脉冲宽度的多指数电容瞬态,难于用有限宽度的脉冲电压引进的空穴对其作饱和填充。上述实验结果表明:热氧化生长形成的Si-SiO₂系统的能带是从共价键硅的能带连续过渡到SiO₂的能带;H_it(0.503)分布在其中的过渡区中,它的能级与价带的距离随着离开硅表面越远而越大。     

注氮GaAs中的深能级及其对自由载流子的补偿

详细研究了注氮n型GaAs中深的和浅的杂质缺陷的电学性质。深能级瞬态谱(DLTS)技术测量表明,能量为140keV和剂量为1×10¹³cm^-2的氮离子注入并经800℃退火30min的GaAs中存在四个电子陷阱,E₁(0.111),E₂(0.234),E₃(0.415),E₄(0.669)和一个空穴陷阱H(0.545),而在能量为20keV和剂量为5×10^{14关键词：}     

在C_(70)固体p-GaAs结构中的甚深深能级

发展了恒温电容瞬态数据处理方法 ,称新方法为恒温电容瞬态时间积谱 (ICTTS) .用ICTTS方法测量分析了C70固体 p GaAs异质结的深能级 ,结果发现在C70 固体中存在两个很深的空穴陷阱 ,H1 和H2 ,它们的能级位置分别为Ev 0 85 6eV和Ev 1 0 37eV     

判别两个或两个以上深能级是否属于同一中心的方法

本文分别研究了两个或两个以上深能级之间的耦合和非耦合两种情况所对应的光电容瞬态,根据这两种瞬态的本质差别,提出一个判别两个或两个以上深能级是否属于同一深中心的方法。它具有适用于两个以上的多个深能级的样品以及方法简单和测量时间短等优点。作为例子,将它应用于判别硅中和金有关的施主和受主两能级,结果证实它们确实是属于和金有关的同一中心,而不是分属于两个中心。 关键词：     

THE INTERACTION OF Au AND THE Si/SiO2 INTERFACE DEFECT Hit(0.494)

The defects at the Si/SiO₂ interface have been studied by the deep-level transient spectroscopy (DLTS) technique in p-type MOS structures with and without gold diffusion. The experimental results show that the interaction of gold and Si/SiO₂ interface defect,H_it(0.494), results in the formation of a new interface de-fect, Au-H_it(0.445). Just like the interface defect, H_it(0.494), the new interface defect possesses a few interesting properties, for example, when the gate voltage applied across the MOS structure reduces the energy interval between Fermi-level and Si valence band of the Si surface to values smaller than the hole ionization Gibbs free energy of the defect, a sharp DLTS peak is still observable; and the hole apparent activation energy increases with the decrease of the Si surface potential barrier height. These properties can be successfully explained with the transition energy band model of the Si/SiO₂ interface.     

THE INTERACTION OF Au AND THE Si/SiO2 INTERFACE DEFECT Hit(0.494)

The defects at the Si/SiO₂ interface have been studied by the deep-level transient spectroscopy (DLTS) technique in p-type MOS structures with and without gold diffusion. The experimental results show that the interaction of gold and Si/SiO₂ interface defect,H_it(0.494), results in the formation of a new interface de-fect, Au-H_it(0.445). Just like the interface defect, H_it(0.494), the new interface defect possesses a few interesting properties, for example, when the gate voltage applied across the MOS structure reduces the energy interval between Fermi-level and Si valence band of the Si surface to values smaller than the hole ionization Gibbs free energy of the defect, a sharp DLTS peak is still observable; and the hole apparent activation energy increases with the decrease of the Si surface potential barrier height. These properties can be successfully explained with the transition energy band model of the Si/SiO₂ interface.     

浅杂质注入LEC半绝缘GaAs γ射线辐照缺陷

用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ）和恒温电容瞬态等技术研究了浅杂质注入ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ的γ射线辐照缺陷。在Ｂｅ－Ｓｉ共注的ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ中，γ射线辐照引入一电子陷阶Ｅ₂，并且大大增强了原有的Ｅ₀₁（０．２９８）和Ｅ₀₂（０．３４１）等缺陷，同时明显地瓦解了原有的少子陷阱Ｈ₀₃。在单纯注Ｓｉ的ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ中，γ射线辐阳引进了Ｅ＇₀₁（０．２１６），Ｅ＇₀₂（０．３４１），Ｅ＇₂，Ｅ＇₄和Ｅ＇₅（０．６０８）等缺陷。其中Ｅ₀₁和Ｅ＇₀₁是新发现的和γ辐照有关的ＧａＡｓ缺陷。和低阻衬底同质外延ＧａＡｓ相比，Ｂｅ－Ｓｉ共注ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ具有较低的γ射线辐照缺陷引入率，与此相反，单纯注Ｓｉ的ＬＥＣ半绝缘ＧａＡｓ具有较高的γ射线辐照缺陷的引入率。 关键词：