Development and Characterization of Metal-Insulator-Metal Capacitors with SiNx Thin Films by Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition

We report the fabrication of high breakdown voltage metal-insulator-metal （MIM） capacitors with 200-nm silicon nitride deposited by plasma-enhanced chemical vapor deposition with 0.957 SiH4/NH3 gas mixing rate, 0.9 Torr working pressure, and 60 W rf power at 250℃ chamber temperature. Some optimized mechanisms such as metal source wiping, pre-melting and evaporation rate adjustment are used for increasing the yield of the MIM capacitors. N2 annealing and O2/H2 plasma pre-deposition treatment is proposed to increase the reliability of the MIM capacitors in high-temperature, high-pressure, and high-humidity environments. A 97% yield and up to 148 V breakdown voltage of a 13.06pF MIM capacitor with 0.04 mm^2 die area can be fabricated.     

造纸废水影响种子萌发和生长的原因初探

本文对选纸废水影响种子萌发和生长的原因作了初步探讨，用造纸废水浸种处理种子，种子的露白百分率下降，根，芽生长受到抑制 ，呼吸强度、过氧化物酶活性和蛋白质含量等也降低。 用与废水 pH值相当的缓冲液处理水稻种子 ，对种子萌发、生长及呼吸强度 、过氧化物酶活性均无明显抑制作用 ．而废水却表现出严重的抑制作用 ．这表明造纸废水对种子萌发和生长的影响并不是由于pH值的原因 ，而可能是废水中存在着某些抑制性物质的缘故． 用造纸废水的酸溶性部分和酸沉淀部分分别处理水稻种子 ，酸溶性部分比酸沉淀部分 具有更强的抑制作用 ，故推测抑制性物质主要存在于酸溶性部分，这种物质可能是木质素 的降解产物酚类化合物．     

Proper application of a kind of matrix construction method in physical parameter identification of dynamic model

ＩｎｔｒｏｄｕｃｔｉｏｎＴｈｅｐｈｙｓｉｃｓｐａｒａｍｅｔｅｒｉｄｅｎｔｉｆｉｃａｔｉｏｎｐｒｏｂｌｅｍｓａｒｅｆｒｅｑｕｅｎｔｌｙｅｎｃｏｕｎｔｅｒｅｄｉｎｔｈｅｆｉｅｌｄｓｏｆａｖｉａｔｉｏｎ,ｓｐａｃｅ,ｍｅｃｈａｎｉｓｍａｎｄｃｉｖｉｌｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ .Ｆｏｒｅｘａｍｐｌｅ ,ｄｕｅｔｏｔｈｅｃｏｍｐｌｅｘｉｔｙｏｆｍａｔｅｒｉａｌｐｒｏｐｅｒｔｉｅｓｉｎｃｉｖｉｌｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ ,ｔｈｅｐｈｙｓｉｃｓｐａｒａｍｅｔｅｒｓｕｓｕａｌｌｙａｒｅｉｄｅｎｔｉｆｉｅｄｂｙｔｅｓｔｄａｔ…     

基于太赫兹透射光谱的乙醇水溶液Debye模型研究

利用太赫兹透射光谱测量了液态乙醇和液态水以及不同浓度乙醇水溶液在22℃的介电常数.并利用Levenberg-Marquardt算法拟合得到了它们的Debye模型,该模型包含3个弛豫过程和1个分子间伸缩振动模式.其中,慢速弛豫模式的强度(弛豫时间20~160ps)贡献了主要的介电强度,中间弛豫模式与其密切相关.而快速弛豫模式(弛豫时间约为1ps)只占了大约5%的介电常数.     

某型导弹自检故障建模与仿真

某型导弹组件较多、构成复杂、故障模式极多,属于科技密集型复杂系统。为了达到缩短维修时间、提高维修效率的目的,需要通过计算机仿真的方式训练部队基层维修人员及工程测试人员。这一目的的实现需要首先建立一套全面、真实的故障仿真系统。通过对故障模式的分析及建模,完成了故障模型在系统仿真模型中的引入工作,从而得到了一套仿真训练系统,并在该训练系统中进行了故障的仿真复现。从复现结果来看,该套仿真训练系统能够真实的反映产品在故障模式下的实际响应。本文中描述的故障仿真系统属首次在导弹类复杂武器系统的维修训练中投入使用,在国内处于领先地位,具有较高的应用推广价值。     

运用ABC系统的先进制造系统经济评价模型

活动为基础的成本计算系统是一种更适应先进制造系统生产特征的成本会计创新模式。本文提出了一种运用ＡＢＣ系统的制造系统经济评价模型，并通过案例说明该模型不但能准确反映先进制造系统使用生产要素的有形成本，而且能充分反映机会成本等无形费用对评价结果的重要影响。     

矩阵构造法在动力模型物理参数识别中的应用

通过矩阵奇异值分解得到矩阵构造的表达式,并将其应用于动力模型物理参数识别问题.根据矩阵构造表达式的特点,可以使参数识别模型降阶,降阶后的模型与原模型之间的数学和物理性质有明确的对应关系,避免了为忽略高阶频率而采用缩聚方法造成的误差.最后,数值算例获得满意的结果.     

几乎交错环链补中的不可压缩曲面

In this paper,we discuss mainly the properties of incompressible pairwies incom- prcssiblc surfaccs in almost altcrnating link complcmcnts. Lct L bca almost link and lct F be an incompressible palrwise incompressible surface in S~3-L.First,we give the properties that the surface F intersects with 2-spheres in S~3-L.The intersection consisting of a collection of circles and saddle-shaped discs is called a topological graph.One can compute the Euler Characteristic number of the surface by calculating the characteristic number of the graph.Next,we prove that if the graph is special simple,then the genus of the surface is zero.     

由变反镜耦合输出的卡塞格林非稳腔激光技术研究

讨论了变反镜参数和由变反镜耦合输出的卡塞格林非稳腔参数的相互关系以及它们对激光光束特性的影响。在此理论基础上，设计了Ｎｄ：ＹＡＧＱ形状高功率高光束质量的激光系统，获得了脉冲能量为１．４ＪＥＭ００模，脉宽１０ｎｓ，重复频率１０ｐｐｓ，束散度达到衍射极限的１．１倍，其倍频效率及混频效率分别为６０％和３０％。