SiNX覆盖层厚度对非晶In-Ga-Zn-O薄膜退火晶化的影响研究

采用射频磁控溅射在二氧化硅衬底上沉积一层厚度200 nm的非晶In-Ga-Zn-O(IGZO)薄膜,并在IGZO膜层上沉积厚度分别为20 nm、50 nm、60 nm、70 nm、90 nm的SiNX薄膜覆盖层,于350℃条件下N2气氛中退火1 h.采用X射线衍射(XRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、能量色散谱仪(EDS)对IGZO薄膜的微观结构及成分进行研究.研究结果表明,退火后无覆盖层的IGZO膜层仍为非晶状态,70 nm以上SiNX覆盖层下的IGZO薄膜不发生晶化.与此不同,20～60 nm的SiNX覆盖层下IGZO膜层与SiNX覆盖层的界面处存在纳米凸起柱,使IGZO薄膜与SiNX覆盖层的接触界面脱离,此厚度的SiNX覆盖层具有诱导非晶IGZO薄膜晶化的作用,IGZO膜层内部的晶粒直径约10 nm.成分分析结果表明,结晶处In原子含量增加,IGZO薄膜中In原子的局域团聚是IGZO薄膜发生晶化的原因.     

光学方法清晰周期性图象

利用光学周期平均法能够清晰地描绘带有噪声的周期性图象。本文讨论了用这种处理方法所得到的较高信噪比,改进了实验装置,给出了相干光处理系统所使用的滤波器的具体形式和实验结果。     

基于偏心光束法的离焦量探测装置及计算方法的改进

引入生物显微镜用于探测病理切片离焦量。针对反射光斑内部纹理缺陷、畸变严重的特殊情况,通过自适应中值滤波、基于Ostu算法的Canny边缘检测(去除非圆弧边缘部分)、畸变校正、最小二乘法拟合非完整圆等算法,直接计算光斑半径大小及离焦方向,建立光斑半径与离焦量的线性关系模型。实验结果表明,与传统的灰度重心法相比,离焦量计算方法抗噪性强、稳定性高,可大幅度地提高线性关系模型的范围及光斑半径、圆心位置的准确度。     

复杂动力网络的鲁棒性同步

本文研究了扰动下复杂动力网络的同步问题. 利用输入状态稳定性分析的方法, 给出了鲁棒同步的概念, 分析了非时间延迟的和含有时间延迟动力网络的同步, 数值仿真也验证了结果的有效性.     

氧电极及其在生物化学分析中的应用

生物体的呼吸作用及其有关的生理生化过程的研究在生命科学中占有重要的地位,具有很大的理论和实践意义。因此,人们建立了许多监测呼吸作用的测氧技术,比较常用的是检压法和氧电极法。氧电极是一种极谱法电极。极谱法的原理是利用溶质在一定电压下发生氧化还原,根据产生的电解电流来测定溶质的量。氧在比较低