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91.
Characterization of Uncooled Poly SiGe Microbolometer for Infrared Detection 总被引:1,自引:0,他引:1 下载免费PDF全文
《中国物理快报》2003,20(5):770-773
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93.
PECVDSiON薄膜的工艺控制,性质及其潜在应用 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了等离子增强化学气相淀积氮氧化硅薄膜的工艺控制、性质以及薄膜波导在超大规模集成电路光互连中的潜在应用。 相似文献
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本文测定了几种二茂铁有机锡衍生物的119Sn,13C NMR谱。对其中几种衍生物的13C NMR谱进行了归属,从而进一步验证了这类化合物的结构。着重讨论了结构如化合物中取代基X的改变对119Sn化学位移的影响。并对结构如
类化合物N→Sn异侧配位的问题进行了讨论。 相似文献
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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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透过海湾战争的硝烟,人们惊奇地发现现代高科技已悄悄地渗透进了战争体系.不仅“电子对抗战”之类的新名词使人们大开眼界,而且在防御上也出现了新的突破.美国耗费了25年时间,22亿美元研制的“爱国者”反导弹导弹以80%的成功率拦截了伊拉克射向沙特与以色列的“飞毛腿”导弹.这是数千年战争史上矛与盾的竞争中,盾占了上风的一个例子.矛与盾这是战争双方必备的武器.在当今世界上,核战争的威胁并没有完全消失.世界的武器库中保存着足于毁灭人类文明的核武器.核打击力量加上各类中长程导弹、火箭、航天飞机、卫星、空间站等运载工具,已形成了战略上的进攻性威胁.作为一般战争规律,有矛必有盾,战略防御概念也必然会应运而生.因此有人说,这是新一轮的扩张军备的竞赛,也不算为过. 相似文献
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聚丙烯微孔膜的等离子体接枝聚合改性 总被引:2,自引:1,他引:1
利用拉伸时的晶型转变致孔特性,从β晶相聚丙烯经单向或双向拉伸制得了新型聚丙烯微孔膜、用等离子体接枝聚合技术接上了亲水性聚合物如聚丙烯酸、聚丙烯腈等。研究了等离子体处理时间、单体性质对得到的亲水膜的亲水性、离子/溶质渗透性的影响。发现接枝聚丙烯酸的双向拉伸膜对Na~+、Mg~(++),尿素有较大的渗透性,并具有优良的形状稳定性。 相似文献
99.
用阳离子表面活性剂十四烷基三甲基溴化铵(C17H38NBr)对膨润土进行插层改性制备.配制浓度为2.35%十四烷基三甲基溴化铵溶液备用.在碘量瓶中称取3.04g膨润土,加入30mL超纯水、10mL十四烷基三甲基溴化铵溶液,制成土浆,放入微波炉中反应1min.产物经抽滤、洗涤、烘干、研磨,做FT-IR和DSC-TG分析.DSC曲线在500℃时有一明显的放热峰;TG曲线显示改性土的失重率有明显的增大.有机改性膨润土中确实含有大量有机物,改性成功. 相似文献
100.