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71.
同步辐射Laminar光栅的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用全息离子束刻蚀和反应离子刻蚀相结合的新工艺 ,在熔石英基片上成功地刻蚀出 2 0 0l/mm、线空比 4:6、槽深 70nm、刻划面积 60× 2 0mm2 的浅槽矩形Laminar光栅。对改进光栅线条粗糙度和线空比的方法进行了系统的研究。这一新工艺相对简单 ,降低了对干涉系统光学元件和全息曝光显影的严格要求  相似文献   
72.
X射线波带片的制作及其应用   总被引:2,自引:0,他引:2  
波带片的低衍射效率限制其在可见光波段的使用,可是在X射线波段,波带片是唯一达到衍射极限的光学元件,因而引起人们的极大兴趣。本文介绍了当前国际上X射线波带片的主要制作方法及其应用,同时回顾了用于X射线聚焦、成像的光学元件——X射线菲涅耳波带片及近几年才出现的布拉格-菲涅耳波带片的历史背景、基本概念和主要类型。  相似文献   
73.
焦载热气化燃煤联合循环系统的数学模型研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
1焦载热燃煤联合循环系统简介中国能源工业以煤炭为主的格局,决定了能源发展及可持续发展战略必须立足于“煤的高效及清洁燃烧技术”。在这一方面,燃煤的联合循环技术最具潜力;它能大幅度地提高发电厂的热效率,并使污染问题得到解决。清华大学近年来一直致力于这方面的工作。1992年,清华大学申报了差速循环流化床和飞灰造粒回燃两项专利,同时对载热气化技术进行了深入地研究。在以上工作基础上,提出了一种易于实现的新型燃煤联合循环发电技术:载热部分气化联合循环技术,并于同年申报了专利。该系统[1-2]采用高温颗粒流动…  相似文献   
74.
X射线布拉格-菲涅耳光学元件的实验研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
用光学全息方法在涂有光刻胶的多层膜表面上的形成布拉格-菲涅耳元件所需的波带片图形,通过离子束刻蚀方法将波带片图形转写到多层膜上,完成元件的制作,给出布拉格-菲涅耳光学元件测量结果,测量结果表明上述方法适于制作布拉格-菲涅耳元件。  相似文献   
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