全文获取类型
收费全文 | 46篇 |
免费 | 17篇 |
国内免费 | 11篇 |
专业分类
化学 | 10篇 |
数学 | 6篇 |
物理学 | 58篇 |
出版年
2021年 | 1篇 |
2019年 | 1篇 |
2018年 | 2篇 |
2017年 | 1篇 |
2016年 | 1篇 |
2015年 | 2篇 |
2014年 | 3篇 |
2013年 | 4篇 |
2012年 | 6篇 |
2011年 | 5篇 |
2009年 | 2篇 |
2008年 | 3篇 |
2007年 | 2篇 |
2006年 | 4篇 |
2005年 | 5篇 |
2004年 | 2篇 |
2003年 | 4篇 |
2002年 | 1篇 |
2001年 | 3篇 |
2000年 | 3篇 |
1999年 | 8篇 |
1998年 | 2篇 |
1997年 | 1篇 |
1996年 | 1篇 |
1995年 | 1篇 |
1994年 | 2篇 |
1993年 | 2篇 |
1992年 | 1篇 |
1991年 | 1篇 |
排序方式: 共有74条查询结果,搜索用时 15 毫秒
61.
针对大面积衍射光学元件制作过程中对光刻胶均匀涂覆的困难,研究弯月面均匀涂胶方法。利用沟槽型弯月面涂胶机,分析影响光刻胶厚度和厚度均匀性的因素。从实验上验证了光刻胶的胶厚和涂覆扫描速率的正相关关系。分析了光刻胶的浓度、基片与涂覆器刀口间隙、供胶速率等因素对胶厚及胶厚均匀性的影响。利用非接触式的激光微位移传感器监测基片和涂覆器刀口间隙,控制此间隙的抖动小于15μm,优化系统运行的稳定性,提升了弯月面涂覆胶厚的均匀性,实现了胶厚峰谷值偏差3%和标准偏差0.5%的均匀光刻胶涂覆,能够满足脉宽压缩光栅等制作过程中对光刻胶均匀涂覆的需求。 相似文献
62.
63.
64.
采用HPM溶液(盐酸、双氧水和去离子水的混合液)结合氧等离子体对多层介质膜脉宽压缩光栅进行清洗研究。用X射线光电子能谱检测光栅表面的元素成分及其原子含量的变化。实验结果表明,氧等离子体处理能有效去除光栅表面残留光刻胶和碳氟化合物; 再经HPM溶液清洗,反应离子束刻蚀和氧等离子体处理过程产生的金属污染物被进一步去除。经过上述清洗工艺处理后,光栅一级衍射效率仍保持在95%以上,光栅表面激光诱导损伤阈值达到1.6 J/cm2 (1053 nm, 10 ps)。实验结果说明了氧等离子体和HPM溶液相结合能有效清洗多层介质膜脉宽压缩光栅,并显著提高光栅损伤阈值。 相似文献
65.
采用国内首次研制出的2 000线/mm的自支撑透射光栅配上背照射软X光CCD(charge coupled device)组成了高谱分辨透射光栅谱仪。通过实验标定和理论模型计算相结合得到了高线对透射光栅的绝对衍射效率;同时建立了透射光栅谱仪测谱解谱方法,编制了相应的解谱程序。在“神光”激光装置上利用该谱仪通过激光打靶实验获得了金腔靶注入口发射的X光能谱定量实验结果,实验结果表明,该谱仪测谱范围在高能区达到6 000eV,谱分辨达到0.1nm,能够清晰地分辨金等离子体M带三峰分布X光谱结构。 相似文献
66.
单晶ZnO纳米线的合成和生长机理研究 总被引:4,自引:0,他引:4
用化学气相输运(CVT)方法合成了直径在20~120nm呈单晶结构的ZnO纳米线.利用场发射扫描电 镜(FESEM)、高分辨透射电镜(HRTEM)以及选区电子衍射(SAED)等技术对ZnO纳米线的生长机理和结构进行 了系统研究,结果表明,纳米线的成核与Au Zn合金催化颗粒的饱和度有直接的关系,先饱和的颗粒上纳米线首 先成核.纳米线顶端合金颗粒组成的变化是导致纳米线生长终止的重要原因,大量纳米线的生长不是同时进行 的.本工作提供了支持纳米线气液固(V L S)生长机理的新实验证据,提出了氧化物纳米线的生长机理. 相似文献
67.
离子束平动刻蚀工艺衍射光学元件的设计及制作 总被引:2,自引:0,他引:2
提出了一种用于制作二维光束整形衍射光学元件的新方法———离子束平动刻蚀工艺。分别介绍了利用这种新方法设计衍射光学元件的原理、设计过程以及刻蚀工艺系统的构成和掩模板的设计方法。结果表明 ,这种新的工艺方法不拘泥于圆对称系统 ,不但继承了离子束旋转刻蚀工艺的位相真正连续分布的优势 ,而且所制作出的衍射光学元件 ,即使对于半导体激光器所产生的两个方向发散角不同的激光束来说也仍然可以进行整形 ,并最终能得到矩形焦斑。这种工艺方法的理论设计也可以从二维化简为两个一维的设计 ,从而大大简化了设计计算的复杂程度 相似文献
68.
69.
焦载热气化燃煤联合循环系统的数学模型研究 总被引:1,自引:0,他引:1
1焦载热燃煤联合循环系统简介中国能源工业以煤炭为主的格局,决定了能源发展及可持续发展战略必须立足于“煤的高效及清洁燃烧技术”。在这一方面,燃煤的联合循环技术最具潜力;它能大幅度地提高发电厂的热效率,并使污染问题得到解决。清华大学近年来一直致力于这方面的工作。1992年,清华大学申报了差速循环流化床和飞灰造粒回燃两项专利,同时对载热气化技术进行了深入地研究。在以上工作基础上,提出了一种易于实现的新型燃煤联合循环发电技术:载热部分气化联合循环技术,并于同年申报了专利。该系统[1-2]采用高温颗粒流动… 相似文献
70.