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用腐蚀法研究了β-SiC外延层中的晶体缺陷。腐蚀剂为熔融氢氧化钾。三角形尖底蚀坑对应于位错。在β-SiC中的全位错为立方晶系的73°位错和60°位错。不同堆垛方式的β-siC生长层相遇时将形成{111}交界层错,其腐蚀图象为平行于<110>方向的直线。60°位错可分解为两个1/6<112>SchockLey不全位错,并夹着一片{111}层错构成扩展位错。三个1/6<110>压杆位错与三片{111}层错可构成层错锥体。正、反堆垛的β-SiC可形成尖晶石律双晶,双晶面为(111)。腐蚀法和X射线劳厄法证实了这种双晶的存在。
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本文根据倒易点阵原理,详细分析了碳化硅劳埃照相中各种SiC三方多型体斑点和SiC基本类型6H斑点间的相互配置关系。这种关系共总结出不外乎十二种,本文提出利用这种关系,以及两6H类型斑点(hOl)间未知三方多型体的斑点数目,来计算未知多型体类型层数的方法。利用这一方法,对在实验室条件下以升华法制备的若干碳化硅单晶体进行了分析,发现了两种同时与6H类型连生的新的碳化硅高层多型体417R和453R,其空间群为R3m(C3v5),点阵参数以六方晶胞表示时为 417R:αH=3.0806?,c=1050.7?,z=417; 453R:αH=3.0806?,c=1141.4?,z=453。以三方晶胞描述时则为 417R:αR=350.4?,α=30.4′,z=139; 453R:αR=380.6?,α=27.8′,z=151。 相似文献
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本文提出了衍射分析用的X射线管谱线纯度的定量测定方法。在国产衍射仪上用石英单晶作分光晶体进行展谱测定。实验测得的各种波长X射线的强度应还原为X射线管窗口处的出射强度。对影响强度的各种因素作了详细的理论分析,给出了对应于不同靶、不同杂质元素的强度还原换算因子表。X射线管阳极靶元素主特征谱线强度用铜或铝吸收箔进行衰减,以避免计数损失造成的误差。用这一方法,对许多X射线管进行了测定。
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人区培育的晶体或天然的晶体一般都带有一定程度的应变.用单晶体制作器件时,往往又需加工成较薄的晶片.通过各种工序,晶片受到机械、高温等的作用,将进一步产生范性或弹性形变.过大的形变会影响器件的性能,甚至不能使用.因此,对不同工艺过程中的晶片或经过使用的成品晶片,进行弯曲形变程度的非破坏性定量测定是十分必要的. Juleff[1]曾对硅单晶器件晶片的单轴均匀弯曲用X射线形貌照相法作过测量.Cohen[2]曾用双晶衍射仪测定晶片弯曲.这些方法分析了单轴均匀弯曲且弯曲轴垂直于仪器水平面的情形.本文对适用性强而又简匣的透射形貌术用于星… 相似文献
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利用同步辐射光源,在Ga和As的K吸收限之间调节入射X射线的能量时,在对称劳厄情况下,GaAs的(200)衍射峰附近可观测到从GaAs的入射面出射的Ga的K系荧光X射线.当入射X射线的能量改变时,荧光曲线的非对称性会发生变化,变化趋势与相应的对称布喇格情况相类似.但是,劳厄情况下的变化不能解释为晶体内部X射线驻波的波节面相对于GaAs(200)格子面的移动.在劳厄情况下,X射线驻波的振幅随入射角的变化与结构因子的相位密切相关,因此结构因子的相位变化也会导致荧光曲线的非对称性变化.在假设原子的荧光溢出与该原
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