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提出了一种基于热声转换的高灵敏声表面波(SAW)电压传感机制并开展实验验证。从传热角度以及微扰理论出发建立了基于热声转换机制的SAW电压传感理论模型,探索了结构参数以及环境因素对SAW电压传感器灵敏度的影响规律。为了验证理论模型,在Y切石英基底上同芯片集成设计MEMS微型加热器与200 MHz声表面波器件以制备SAW电压传感器件,并搭建电压测试平台对传感器件开展性能测试。实验结果表明所制备的SAW传感器件电压与频率响应之间具有二次线性关系且在室温(20℃)下具有与理论相近的电压灵敏度(22.4 kHz/V),此外实验获得的环境温度对电压灵敏度的影响规律与理论相符。基于热声转换机制的SAW电压传感器能够显著的提高电压检测灵敏度。 相似文献
102.
GaN的声表面波特性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用金属有机物化学气相外延方法在(0001)面蓝宝石上生长了高质量、高阻的未掺杂(0001)面GaN薄膜。为精确测量GaN薄膜材料的声表面波特性,在GaN薄膜表面上沉积了金属叉指换能器,叉指换能器采用等叉指结构,叉指的数目为40对,叉指间距为15μm。采用脉冲法测量了声表面波在自由表面和金属表面上的速度,并通过计算得到了机电耦合系数(κ^2)。所测量的声表面波速度(ν)为5667m/s,机电耦合系数(κ^2)为1.9%。 相似文献
103.
本文叙述研制成功的表面声波63位双相编码延迟线,中心频率为70MHz,编码速率为5Mbit/s,编码长度为12.6μs。 该器件从第33位到63位的编码内容是第1位到第31位编码序列的重复,即构成一个等价平移的M_(32)序列。这是为某种特定的信号处理格局专门研制的器件,在时分多制扩频通信系统中用于实现时钟的快速精密同步。器件制作于ST石英基片上,因而具有良好的温度稳定性,同时为充分发挥SAW器件由于使用平面工艺制作而具有的一系列优点,在设计中实现不同调谐匹配电感仍使器件的插入损耗处于在实用上可以接受的量级。实际测试表明,器件的主要性能指标,即自相关峰值与旁瓣比接近理论值,且在实际使用中已获得良好效果。 相似文献
104.
105.
106.
107.
108.
低频液体表面波衍射条纹的不对称性 总被引:5,自引:3,他引:2
实验上实现了低频液体表面波的光衍射,当表面波波长远大于入射光波波长时,得到了稳定、清晰的衍射图样,并首次发现了衍射条纹具有明显的不对称分布.理论上对表面波衍射的近似条件进行了分析,得出了各级衍射条纹角宽度的解析表达式,解释了衍射条纹的非对称分布.衍射图样的不对称分布具有普遍规律,可观察的明显程度与表面波的波长和光波波长的比值有关,在能观察到衍射效应的条件下,当表面波波长远大于光波波长,非对称分布越明显,当表面波波长远接近光波波长时,衍射条纹可近似的看成是对称分布的. 相似文献
109.
110.