自重变形对超高精度Fizeau干涉仪的光学性能影响

为实现λ/100峰谷值(PV)的光刻投影物镜面形检测精度要求,深入分析了自重变形对大口径超高精度Fizeau干涉仪的光学性能产生的影响.设计的球面标准具结构,其系统波像差达到λ/1000(PV)、像方数值孔径(NA)值为0.36,用于口径超过300 mm的球面镜面形检测.使用Patran/Nastran软件通过有限元方...     

泄漏辐射模显微镜测量薄膜的局域双折射率

介质双折射率的传统测量方法有偏振光椭圆率测量仪和光学相干断层扫描等.提出一种新型的介质双折射率测量方法--切向偏振光照明的泄漏辐射模显微镜激励波导模共振,通过对物镜后焦面的傅里叶光谱信息进行成像,测量介质的双折射率.分析了利用切向偏振光照明的泄漏辐射模显微镜测量介质双折射率的原理并测量了双折射率差为△n≈0.005的偶...     

单目摄像机-激光测距传感器位姿测量系统

在单目视觉测量中,由于模型自身的限制,沿摄像机光轴方向上的位移测量精度一般远低于垂直光轴方向上的位移测量精度.首先,从数学模型上分析了单目视觉位姿测量在沿光轴方向上位移测量精度低的原因;然后,为了提高沿摄像机光轴方向上的位移测量精度,通过在沿摄像机光轴方向上加装一个高精度的激光测距传感器,设计了一种单目摄像机-激光测距...     

基于相位测量偏折术的非球面法线向量测量

非球面可以由其法线汇来表征,即可以由法线距和法线角的关系来描述.提出了一种基于相位测量偏折术(PMD)的非球面反射镜法线向量检测方法.在PMD测量系统中,将待测镜沿光轴方向作相对移动.在移动过程中,由CCD相机扫描待测镜,观察并记录下随待测镜移动而发生变化的条纹图,通过相位分布计算得到非球面法线距和法线角的关系,即非球...     

一种精确测量光学球面曲率半径的方法

在简要总结各种检测光学球面曲率半径方法优缺点的基础上,提出了利用激光跟踪仪和激光干涉仪测量光学球面曲率半径的新方法。首先,通过激光跟踪仪精确定位测量干涉仪出射球面波前的焦点和待测球面镜的曲率中心点坐标,再调整待测球面镜与干涉仪的相对位置,使待测球面镜达到零条纹干涉状态,用激光跟踪仪测定此时待测球面镜上多点的位置坐标,通过计算分析即可得到待测球面镜的曲率半径。研究和分析了这种测量光学球面曲率半径方法的基本原理,并提出了针对凸球面镜曲率半径的多区域测定平均综合优化的方法。结合实例对一口径为400mm的球面透镜进行了曲率半径的测量,测量得到其两面曲率半径分别为1022.283mm(凸面)和4069.568mm(凹面),并将该透镜进行了轮廓法测量对比,其相对误差都小于0.05%。     

基于单色捕捉技术的透平导叶传热系数测量

采用窄带热敏液晶瞬态单色捕捉技术测量叶片全表面传热系数,以预先加热被测叶片并在主流中快速冷却的方法引入温度阶跃,利用3台3CCD（电荷耦合元件）相机对叶片表面的不同区域进行图像采集记录,将图像坐标转换至叶片空间坐标,通过后处理得到叶片表面传热系数。由实验结果分析可知,叶片前缘区域传热系数最大值位于加速最剧烈处,在吸力面...     

S变换轮廓术中消除条纹非线性影响的方法

S变换是短时傅里叶变换和小波变换的延伸和推广,是一种无损可逆的非平稳信号时频分析方法.它不仅具有线性、多分辨性和逆变换唯一性等特点,而且其反变换与傅里叶变换保持着直接的联系.在S变换中,以简谐波作为基波,以可以同时进行伸缩和平移的高斯函数作为窗函数.同短时傅里叶变换相比,S变换的时频分辨率可以同时达到最佳,同小波变换相...     

基于磁光调制偏振光的空间方位失调角高精度测量新方法

调制偏振光可以作为方位信息的载体,实现方位角度信息的传递,在军事、航天和生物医药等领域有广泛的应用前景.阐述了基于磁光调制偏振光的方位失调角测量原理,分析了现有测量原理中的误差来源.为了从理论方法上提高测量精度,提出了直接计算的方法,将磁光调制后的光强信号直接进行取极值点处理,建立了失调角与极值点之间的方程,详细分析了...     

基于特征面片的复杂型面轮廓视觉测量方法

提出一种基于特征面片的复杂型面轮廓三维视觉测量方法.该方法包括多模式局部特征检测与匹配、特征面片集初始化、膨胀、滤波等重构过程,其输入是已标定的立体图像,输出是覆盖表面的可视稠密面片集.该方法不需要目标和场景的任何初始边界信息,能够自动检测和抛弃外部点和缺失部分;不需要对邻域特征进行任何平滑处理,仅需通过局部单演特征一...     

透镜检测中复合自动对焦技术的研究及应用

针对光学透镜参数测量系统中的对焦问题,设计了一种粗精结合的复合自动对焦方案.在粗对焦过程中,选用全局图像的方差函数作为清晰度评价函数,用均值比较的爬山法实现焦面搜索,并用三点法判断初始对焦方向.在精对焦过程中,利用基于数学形态学的条件膨胀算法和形状因子提取目标图像,并以日标图像区域内的Brenner函数作为清晰度评价函...