| 一种精确测量光学球面曲率半径的方法 |
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| 引用本文： | 王孝坤,郑立功.一种精确测量光学球面曲率半径的方法[J].光学学报,2011(8). |
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| 作者姓名： | 王孝坤 郑立功 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; |
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| 基金项目： | 国家863计划(O8663NJ090); 国家自然科学基金重点项目(61036015)资助课题 |
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| 摘 要： | 在简要总结各种检测光学球面曲率半径方法优缺点的基础上,提出了利用激光跟踪仪和激光干涉仪测量光学球面曲率半径的新方法。首先,通过激光跟踪仪精确定位测量干涉仪出射球面波前的焦点和待测球面镜的曲率中心点坐标,再调整待测球面镜与干涉仪的相对位置,使待测球面镜达到零条纹干涉状态,用激光跟踪仪测定此时待测球面镜上多点的位置坐标,通过计算分析即可得到待测球面镜的曲率半径。研究和分析了这种测量光学球面曲率半径方法的基本原理,并提出了针对凸球面镜曲率半径的多区域测定平均综合优化的方法。结合实例对一口径为400mm的球面透镜进行了曲率半径的测量,测量得到其两面曲率半径分别为1022.283mm(凸面)和4069.568mm(凹面),并将该透镜进行了轮廓法测量对比,其相对误差都小于0.05%。
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| 关 键 词： | 测量 光学测量 光学球面 曲率半径 激光跟踪仪 干涉仪 |
A Method for Testing Radius of Curvature of Optical Spheric Surface |
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| Wang Xiaokun Zheng Ligong.A Method for Testing Radius of Curvature of Optical Spheric Surface[J].Acta Optica Sinica,2011(8). |
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| Authors: | Wang Xiaokun Zheng Ligong |
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| Institution: | Wang Xiaokun Zheng Ligong(Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun,Jilin 130033,China) |
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| Abstract: | On the basis of summing up conventional testing methods for the radius of curvature of optical sphere,a novel method using laser tracker and interferometer is proposed.The focus of the exit spheric surface wave front and the coordinate of curvature center of the testing spheric surface are tested by a laser tracker.After adjusting the spheric surface and the interferometer,the coordinates of many points on the spheric surface are tested,and then the radius of curvature of the spheric surface can be calculat... |
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| Keywords: | measurement optical testing optical spheric surface radius of curvature laser tracker interferometer |
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