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用改进的离子束增强沉积方法和恰当的退火从V2O5粉末直接制备了VO2多晶薄膜.实验测试表明,薄膜的取向单一、相变特性显著、结构致密、界面结合牢固、工艺性能良好,薄膜的电阻温度系数(TCR)最高可达4.23%/K.从成膜机理出发,较详细地讨论了离子束增强沉积 VO2多晶薄膜的TCR高于VOx薄膜的TCR的原因.分析认为,单一取向的VO2结构使薄膜晶粒具有较高的电导激活能,致密的薄膜结构减少了氧空位和晶界宽度,使离子束增强沉积 VO2多晶薄膜结构比其他方法制备的VOx薄膜更接近于单晶VO2是其具有高TCR的原
关键词:
VO2多晶薄膜
离子束增强沉积
热电阻温度系数 相似文献
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K. S. Birdi 《Colloid and polymer science》1997,275(6):561-566
The surface tension versus temperature data of homologous series of n-alkanes and n-alkenes is analyzed. Critical temperatures are shown to be predicted from these data, with a very high precision, after some
corrections are made. The corrections are shown to arise from the effect of the critical pressure on the extrapolated data
to surface tension approaching zero.
Received: 29 October 1996 Accepted: 13 December 1996 相似文献
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提出了折射率温敏式光纤温度传感器的理论模型,包括子午光线和偏射光线的影响,讨论了多模光纤的弯曲损耗,理论的分析和结果与实验相当一致。 相似文献
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以金刚石压腔高压装置为工具,用Ⅱ型金刚石作压砧兼红外窗口,对本征态聚苯胺进行了高压(0~8.4 GPa)就位红外光谱测试。结果表明:在4.8~5.2 GPa压力区间,代表醌环振动的吸收峰相对代表苯环振动的吸收峰变小,表明聚苯胺在此压力区间结构上发生了显著变化,且这种变化是不可逆的。聚苯胺的高压(0~14.5 GPa)电阻测量结果表明:当压力小于7.5 GPa时,电阻随压力升高而显著降低,据此认为聚苯胺为电子性导电物质;在7.5 GPa处电阻出现极小值,然后又缓慢升高,至10 GPa后基本不变。推测聚苯胺电阻极小值是由结构变化引起的。至于红外光谱与电阻测量结果反映聚苯胺结构变化的压力值不一致,可能是由于测试条件不同所致。 相似文献
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本文给出了对高功率横流CO_2激光器脉冲预电离过程的理论和实验研究.表明了预电离过程中光电离的重要作用.实验结果表明,脉冲预电离可增大高功率横流CO_2.激光器的pd值(p为放电气压、d为放电间隔),增大放电区注入功率密度.对于提高此类型激光器的放电稳定性和输出激光功率是一种技术简单而有效的手段. 相似文献