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21.
Incident intensity, defined by the amount of particles deposited per pulse, is an important parameter in the film growth process of pulsed laser deposition (PLD). Different from previous models, we investigate the irreversible and reversible growth processes by using a kinetic Monte Carlo method and find that island density and film morphology strongly depend on pulse intensity. At higher pulse intensities, lots of adatoms instantaneously diffuse on the substrate surface, and then nucleation easily occurs between the moving adatoms resulting in more smaller-size islands. In contrast, at the lower pulse intensities, nucleation event occurs preferentially between the single adatom and existing islands rather than forming new islands, and therefore the average island size becomes larger in this case. Additionally, our results show that substrate temperature plays an important role in film growth. In particular, it can determine the films shape and weaken the effect of pulse intensity on film growth at the lower temperatures by controlling the mobility rate of atoms. Our results can match the related theoretical and experimental results.  相似文献   
22.
采用蒙特卡罗方法,对EACVD中氢原子的发射过程进行了模拟。给出了由氢原子谱线测定电子平均能量的方法,结果对EACVD生长金刚石薄膜过程中实时监测电子平均能量,进而可以有效地控制工艺条件,生长出高质量的金刚石薄膜具有重要意义。  相似文献   
23.
斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率分析   总被引:2,自引:0,他引:2       下载免费PDF全文
斜角入射沉积法是一种制备薄膜的新颖方法,它可以用来制备渐变折射率薄膜.本文首先探讨了膜料的沉积入射角为α,薄膜柱状生长倾斜角为β时的薄膜的填充系数;之后利用drude理论,分析研究了斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的折射率与薄膜的入射角和生长方向的关系. 关键词: 斜角入射沉积 渐变折射率 填充系数  相似文献   
24.
通过测定平带电位,澄清了OH~-离子在CdSe电极上的吸附情况,发现在S、S~(2-)、OH~-溶液中S~(2-)离子优先吸附,结合旋转环盘电极测量,证明n-CdSe电极在多硫溶液界面上的电荷转移过程。  相似文献   
25.
c轴定向氮化铝薄膜的制备   总被引:3,自引:0,他引:3  
龚辉  范正修 《光学学报》2002,22(8):33-936
利用电子回旋共振 (ECR)微波增强化学气相沉积法 (PECVD)并使用氮气 (N2 ) ,氩气 (Ar)和AlCl3蒸气作为气源在直径为 6 .35cm的 (10 0 )单晶硅片表面制备了c轴定向氮化铝 (AlN)薄膜 ,并使用X射线衍射仪及其X射线特征能谱和扫描电镜 (SEM)分析了薄膜特征 ,研究了微波功率、基板温度和N2 流量对薄膜c轴定向的影响 ,得到了c轴偏差角小于 5°的高质量大面积AlN薄膜。  相似文献   
26.
在用静电探针诊断了轴流式射频等离子体激活化学汽相沉积(PCVD)反应器中等离子体电子温度、电子密度轴向分布的基础上,提出与主要工艺参数相联系的二元流体动力学模型。以等离子体参量的轴向分布和变化规律为中介量,从动力学的角度分析主要工艺参数影响PCVD沉积质量分布的规律。将模型用于沉积SnO2薄膜的过程,理论计算与实验结果符合较好。 关键词:  相似文献   
27.
28.
近代洞庭湖沉积与孕灾环境研究   总被引:4,自引:0,他引:4  
通过对洞庭湖区不同沉积部位的22个钻孔取样和^210Pb放射性同位素测年分析,洞庭湖有较高的沉积速率,最高可达2.33cm/a,不同的沉积部位沉积速率也有较大的差异。由于19世纪以来四口分流形成,大量长江的泥沙进入洞庭湖,近50年的水文资料表明,洞庭湖83%的泥沙淤积来源于长江。由于人类围垦、上游森林砍伐和洲滩堤坝的逐年加高,洞庭湖水面减少了2/3,洞庭湖对长江洪水的调蓄能力已迅速减弱。洞庭湖的演变变化过程直接影响到长江中游的生态安全。  相似文献   
29.
This paper presents a new theory for calculating the transport of high-energy photons and their secondary charged particles. We call this new algorithm characteristic line method, which is completely analytic. Using this new method we cannot only accurately calculate the transport behaviour of energetic photons, but also precisely describes the transport behaviour and energy deposition of secondary electrons, photoelectrons, Compton recoil electrons and positron-electron pairs. Its calculation efficiency is much higher than that of the Monte Carlo method. The theory can be directly applied to layered media situation and obtain a pencil-beam-modelled solution. Therefore, it may be applied to clinical applications for radiation therapy.  相似文献   
30.
用脉冲激光沉积技术制备了掺杂纳米金属颗粒Au或Fe的BaTiO3复合薄膜.用透射电子显微镜和x射线光电子能谱表征了金属颗粒的形态和化学态.330-800nm范围的吸收谱研究表明,掺Au颗粒的BaTiO3薄膜在580nm附近有一个明显的共振吸收峰,而掺Fe颗粒的BaTiO3薄膜没有这样的吸收峰.用Mie散射理论对结果进行了分析.  相似文献   
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