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PECVDSiON薄膜的工艺控制,性质及其潜在应用 总被引:2,自引:1,他引:1
研究了等离子增强化学气相淀积氮氧化硅薄膜的工艺控制、性质以及薄膜波导在超大规模集成电路光互连中的潜在应用。 相似文献
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本文测定了几种二茂铁有机锡衍生物的119Sn,13C NMR谱。对其中几种衍生物的13C NMR谱进行了归属,从而进一步验证了这类化合物的结构。着重讨论了结构如化合物中取代基X的改变对119Sn化学位移的影响。并对结构如
类化合物N→Sn异侧配位的问题进行了讨论。 相似文献
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采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
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透过海湾战争的硝烟,人们惊奇地发现现代高科技已悄悄地渗透进了战争体系.不仅“电子对抗战”之类的新名词使人们大开眼界,而且在防御上也出现了新的突破.美国耗费了25年时间,22亿美元研制的“爱国者”反导弹导弹以80%的成功率拦截了伊拉克射向沙特与以色列的“飞毛腿”导弹.这是数千年战争史上矛与盾的竞争中,盾占了上风的一个例子.矛与盾这是战争双方必备的武器.在当今世界上,核战争的威胁并没有完全消失.世界的武器库中保存着足于毁灭人类文明的核武器.核打击力量加上各类中长程导弹、火箭、航天飞机、卫星、空间站等运载工具,已形成了战略上的进攻性威胁.作为一般战争规律,有矛必有盾,战略防御概念也必然会应运而生.因此有人说,这是新一轮的扩张军备的竞赛,也不算为过. 相似文献
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