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用Nd-YAG脉冲激光对n型硅掺铟,形成外p+n结。利用二次离子质谱仪(SIMS)、卢瑟福背散射(RBS)等方法,研究了硅内铟的分布,并分析了用20ns脉冲激光硅掺铟的物理过程,发现当激光能量密度足够大时,在硅表面层存在硅-铟混合熔体和液态硅两部分。当激光能量密度较小时,硅表面层仅有液态硅层、用I-V,C-V和深能级瞬态谱(DLTS)等方法研究了p+n结的电学性质,发现在p+n结的n区存在两个缺陷。一个能通过快速热退火,在600℃,60s条件下消失,研究表明可能为空位与杂质的复合体。另一个通过快速热退火不能消失,可能与位错有关。
关键词: 相似文献
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本文采用刚性离子模型,利用远红外和啦曼光谱的实验结果,确定模型中的参量,研究了正方结构 La_(2-x)M_xCuO_4Γ点的晶格振动.预言 R.J.Birgeneau 等观测到的软模,在Γ点具有 E_g 对称性.并用一种有效的方法,计算了多晶材料的平均声速. 相似文献
94.
报道了Al/α-SnPc/ITO夹心结构的瞬态光电压随入射光强度和波长变化的演变特性和稳态连续光照射下的光电压作用光谱。稳态光电压作用光谱和其对应吸收光谱的变化趋势非常接近;而瞬态光电压的大小、极性和响应时间则共同取决于入射光的强度和波长。其中瞬态光电压的正峰部分(相对于ITO电极)只在较强的光照射下才出现,而且其响应时间也总是慢于同一条件下出现的负电压峰。文中对该现象的内在机制作了初步的探讨。 相似文献
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介绍一种应用电光晶体补偿位相测量微小位移的方法,着重分析其测量精度,并应用这种方法校正压电陶瓷的线性,精度优于1%波长。 相似文献
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球形微粒样品室温永久光谱烧孔的动力学过程及多重性研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用球粒表面形态共振,实现室温下的永久光谱烧孔,建立理论模型对动力学过程进行分析,据此对实验结果进行拟合,得到有效成孔速率等参数;并对烧孔的多重性进行研究,将这些结果应用于室温频域光信息存贮将有较好的前景。 相似文献
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100.
类金刚石薄膜红外光学常数的计算机拟合 总被引:2,自引:1,他引:1
报道了一种对类金刚石薄膜红外透射率曲线最小二乘法拟合的方法,确定类金刚石薄膜的红外光学常数-折射率、吸收系数以及薄膜厚度及表面粗糙度。介绍了相应的数学模型,并给出了对类金刚石薄膜样品的实验测及拟合结果。 相似文献