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91.
Laser-induced etching of polycrystalline Al2O3TiC material by a tightly-focused cw Ar ion laser has been investigated in a KOH solution with different concentrations. It is found that the KOH concentration can strongly affect the etching quality where low KOH concentration can result in rough and irregular patterns. Laser-induced etching of polycrystalline Al2O3TiC in a KOH solution is found to be a photothermal reaction in which a threshold laser power exists. With an appropriate set of etching parameters, well-defined grooves can be obtained with clean side walls and with an etching rate up to several hundred micrometers per second. The etching behavior is also found to depend on laser scanning direction. It is also found that the grains in the polycrystalline Al2O3TiC material play an important role in the etching dynamics and etching quality. This etching process is believed to be applicable to the formation of a slider surface of magnetic heads in the future.  相似文献   
92.
宽带折反射式紫外光刻物镜的设计   总被引:1,自引:1,他引:0  
张雨东  邹海兴 《光学学报》1992,12(4):58-364
本文设计了一种新系列的紫外或远紫外激光光刻物镜,它与国内外已有的紫外物镜相比,在365nm以下的光谱区,具有更宽的光谱工作带宽和较高的数值孔径.以宽带准分子激光或短弧汞氙灯做光源,无需另加色散补偿光学元件,可以进行同轴对准.  相似文献   
93.
注入控制铜蒸气激光方向性时间过程测量   总被引:1,自引:0,他引:1  
张勇  梁培辉 《光学学报》1998,18(4):08-411
实验研究了注入控制对铜蒸气激光非稳腔输出光束质量的影响,从输出光发散角时间分辨过程的测量结果说明注入加速被注入腔内激光发散角的减小过程。由于被注入腔内放大自发辐射的存在,为得到较好的注入控制效果,注入光的脉宽和进入被注入腔的延时必须恰当。  相似文献   
94.
文章提出了工程项目施工的投资状态函数、进度状态函数、质量状态函数和环境状态函数,并以状态函数为基础,建立了项目施工状态诊断模型。文章给出各层次中的状态函数,理出了施工状态量化诊断的思路,对各层次中状态诊断函数的描述作了探索。  相似文献   
95.
In this paper, we study the existence of periodic orbits bifurcating from stationary solutions of a planar dynamical system of Filippov type. This phenomenon is interpreted as a generalized Hopf bifurcation. In the case of smoothness, Hopf bifurcation is characterized by a pair of complex conjugate eigenvalues crossing through the imaginary axis. This method does not carry over to nonsmooth systems, due to the lack of linearization at the origin which is located on the line of discontinuity. In fact, generalized Hopf bifurcation is determined by interactions between the discontinuity of the system and the eigen-structures of all subsystems. With the help of geometrical observations for a corresponding piecewise linear system, we derive an analytical method to investigate the existence of periodic orbits that are obtained by searching for the fixed points of return maps.  相似文献   
96.
The effect of angular momentum on the competition between fission and particle emission during light system fission process was studied via fission diffusion model. The prescission particle multiplicities were found to increase with decreasing angular momentum. The experimental prescission proton and α particle multiplicities can be fitted for 10.6 MeV/nucleon 84Kr(27Al,binary fission) reaction with this model. Entrance channel effect found in [1] is proved to be angular momentum effect.  相似文献   
97.
本文报道用真空热蒸发法淀积的非晶态硒化镉薄膜作光敏介质制备超快光电导探测器。用对撞脉冲锁模Nd:YAG激光器产生的超短光脉冲序列对探测器的响应时间进行检测,结果表明a-CdSe薄膜对皮秒(10-12秒)级的超短光脉冲作用具有良好的瞬态响应光电特性,探讨a-CdSe薄膜快速弛豫过程的内在机理。  相似文献   
98.
源气体对沉积的a-C∶F∶H薄膜结构的影响   总被引:3,自引:0,他引:3       下载免费PDF全文
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键 关键词: 氟化非晶碳膜 电子回旋共振化学气相沉积 红外吸收光谱  相似文献   
99.
祖继锋  邹立勋 《应用光学》1992,13(6):1-3,11
介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。  相似文献   
100.
氮化硼固相转变的船形模型   总被引:1,自引:1,他引:0       下载免费PDF全文
 船形转变模型是有rBN结构向wBN结构的固相转变模型。在静高压下,相比于以椅形方式,rBN更容易以船形方式转变。  相似文献   
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