GDM-450BN高真空多层镀膜设备介绍

GDM-450BN高真空多层镀膜设备已由南东土壤仪器厂试制成功。南京土壤仪器厂是一个设备简陋的小厂,但他们厂小志气大,在批林批孔运动的推动下,他们用不到一年的时间,试制成功了这种高真空多层镀膜设备。该设备采用了国内先进科研成果,除真空度高,恢复真空时间短(能在10分钟内恢复真空度到5×10~(-5)毫米汞柱)等一般高真空镀膜机的     

镀膜前的电子轰击实验

<正> 一、前言现行的真空镀膜工艺都采用离子轰击法,也就是在低真空条件下(10~(-2)～10~(-3)托),用高压电场(2～5 kV)使钟罩内的气体分子电离,从而产生具有一定速度的离子流轰击待镀玻璃表面,起到除尘、去油、去气等作用。经     

分子束外延

分子束外延是七十年代初在真空蒸发外延的基础上发展起来的一种新的外延技术.它是把要蒸发的外延物质,放在喷射炉中,在10-10托以上超高真空的喷射室内加热,使物质蒸发.蒸气分子从喷射炉的小孔射出,成为分子束,直接在保持有一定温度的衬底上淀积(见图1). 从分子一个一个地粘附在衬底表面形成外延淀积这一点来看,分子束外延与真空蒸发外延本质上相同.但普通真空蒸发系统的真空度为10-6托左右,系统内残留的气体分子有相当一部分会掺入到外延层.因此,要求有较高的淀积速度,以免残留气体严重掺入.分子束外延在10-10托以上的超高真空下进行,除统内…     

汞扩散泵——镉捕集阱高真空系统

我们在二级玻璃汞扩散泵的真空系统上使用了室温的镉膜阱,证明镉膜阱能有效地捕集汞蒸气,使被抽容器达到气压力10^-5—10^-7毫米汞数量级的高真空。我们较系统地试验了镉膜的条件对于极限气压的影响,实验结果表明,新蒸发的镉膜效果最好;将镉膜在10^-2毫米汞的气压下搁置10小时后对于极限气压的影响不大;但若将其在大气下搁置10小时,则极限气压约升高一个数量级;进一步延长在大气中的暴露时间(达300天),对极限气压无更大的影响。初步的寿命试验表明,扩散泵工作140小时之后,极限气压才较显著地上升。降低镉膜阱的温度、增加镉膜阱的数目和被抽容器的高温烘烤都是提高真空度的有效途径;在实验中考虑了这些因素,我们曾获得了气压低达10^-9毫米汞数量级的超高真空。     

HL-2M 装置真空抽气系统的研制

HL-2M 装置真空抽气系统包括 4 套涡轮分子泵机组和 4 套低温泵机组。辅助系统主要由设备逻辑 控制与信号测量、水冷却循环系统和设备供气系统 3 部分组成。真空室经过 100℃烘烤后真空度达到 2.3×10⁻⁶Pa, 超过了设计预期真空度,满足超高真空技术要求。     

超高应变率载荷下铜材料层裂特性研究

超高应变率载荷下材料层裂特性研究对理解极端条件下材料动态破坏特性具有重要意义.利用双温模型结合分子动力学模拟研究分析了超高应变率载荷下铜材料的层裂特性,发现当应变率在10~9s~(-1)—10~(10)s~(-1)内时,铜材料层裂强度在19 GPa附近波动.而当材料发生冲击熔化时,铜的层裂强度下降到14.89 GPa.利用飞秒激光对铜样品靶进行冲击加载,并利用啁啾脉冲频谱干涉技术开展超快诊断,通过单发次实验测量获得了样品靶的自由面粒子速度演化历史,结果未见表征样品层裂的速度回跳和速度周期性振荡信号.结合冲击动力学理论得到样品自由面附近最大加载压强为8.18 GPa,小于超高应变率载荷下铜材料的层裂强度.此外,对回收样品扫描分析发现,铜样品未发生层裂且飞秒激光引起的冲击波对样品表面结构产生了很大影响.     

钒膜的制备及其超导转变温度

在1×10~(-5)托普通高真空系统中用电子枪蒸发源在150℃以上的微晶玻璃和熔融石英底板上淀积得到了钒膜。俄歇谱分析表明钒膜含有较多量的氧和碳,在钒膜内部氧峰远远低于表面。对钒膜的超导转变温度作了测量,Tc的最高值为4.35K。超导转变温度Tc正比于薄膜电阻比(ρ_(300)—ρ_r)/ρ_(300)。本文强调指出:欲制取Tc高于4K的钒膜有两个重要的因素,即使蒸发淀积时真空度仅为1×10~(-5)托,一是保持较高的底板温度,二是在薄膜淀积前作多次预蒸发,以降低真空室中剩余气体氧的分压。     

沉积态铀薄膜表面氧化的X射线光电子能谱

含铀(U)薄膜在激光惯性约束聚变的实验研究中有重要的用途.研究其在不同气氛下的氧化性能可以为微靶制备、储存及物理实验提供关键的实验数据.通过超高真空磁控溅射技术制备了纯U薄膜及金-铀(Au-U)复合平面膜,将其在大气、高纯氩(Ar)气及超高真空度环境中暴露一段时间后,利用X射线光电子能谱仪结合Ar~+束深度剖析技术考察U层中氧(O)元素分布及价态,分析氧化产物及机理.结果显示,初始状态的U薄膜中未检测到O的存在.Au-U复合薄膜中的微观缺陷减弱了Au防护层的屏蔽效果,使其在3周左右时间内严重氧化,产物为U表面致密的氧化膜及缺陷周围的点状腐蚀物,主要成分均为二氧化铀(UO_2).在高纯Ar气中纯U薄膜仅暴露6 h后表面即被严重氧化,生成厚度不均匀的UO_2.在超高真空度环境下保存12 h后,纯U薄膜表面也发生明显氧化,生成厚度不足1 nm的UO_2.Ar~+束对铀氧化物的刻蚀会因择优溅射效应而使UO_2被还原成非化学计量的UO_(2-x),但这种效应受O含量的影响.     

光阴极直流高压电子枪工程设计北大核心CSCD

根据光阴极直流高压电子枪超高真空和高电压工作特点,采取技术措施,金属腔体采用大通径、短管设计,利用非蒸散型吸气剂(NEG)泵的抽气,封闭储气空间预置排气通道,电极系统增加中间电极,降低系统峰值场强,采用均压环非均匀分布,在绝缘子内表面获得更加均匀的场分布。结果表明,腔体真空度已小于5×10-9 Pa,电压可升至300kV。     

应用金-硅面垒型探测器测量中性粒子能谱

本文叙述了应用金-硅面垒型探测器在真空度为10~(-6)托和温度为-100℃左右的条件下,测量能量为20—100千电子伏中性粒子的能谱.介绍实验装置和方法.分析实验结果。     

一种结构简单使用方便的微型真空阀

在低温实验中,常常要对小容积的输液管、真空室等进行抽空处理,目前一般实验室大都采用在被抽容器上焊上一段管子,再在管子上套上一段真空橡皮管,并与真空系统相联,当抽到一定的真空度后用夹子夹死,或采用隔膜式真空阀。这两种方式的缺点是:由于橡皮管和橡皮膜暴露在真空中的面积较大,真空度不易保持,每次实验前必须重新进行抽空处理,一般输液管用的死真空或活真空所用的真空阀体积大而重,致使使用也很不方便。为了克服以上这些缺点,最近我们研制了一种微型真空阀。实际使用表明:这种阀门具有结构简单,体积小、重量轻、加工容易,使用方便、气密性能良好等优点。     

以慢原子束方式进行原子转移的双磁光阱系统

建立了一套用于玻色-爱因斯坦凝聚实验的铷原子双磁光阱装置.从低速强源中获得慢原子束，向超高真空磁光阱进行原子转移.低速强源磁光阱与超高真空磁光阱之间可维持3个量级的压强差,超高真空磁光阱的真空度最高可达1×10^-9 Pa. 慢原子束的束流通量达1×10⁹/s. 约4×10⁸个⁸⁷Rb原子被装载到超高真空磁光阱中.还讨论了两种典型情况下磁光阱中装载的最大原子数.     

大型油扩散泵的改进工作

在鉴定某工厂试制的、口径为500毫米的油扩散泵时,测得泵的抽速为4580升/秒,最高真空为8×10~(-6)毫米汞柱(功率为3000瓦)。同时发现装在泵上的测量罩较热。 一般认为,油扩散泵的抽速应为泵口径(厘米)平方的三倍,而且大型泵的抽速应高于这个指标。据此,上述500毫米口径扩散泵的抽速应不小于7500升/秒。泵的最高真空,在不加水冷或液体氮冷却的情况下,国外水平约为5×10~(-7)毫米汞柱。     

金属油扩散泵的研究制造

1.油扩散泵与水银扩散泵的比较 水银扩散泵是1915年发明的,但自1928年发现可以用油作为工作液体代替水银后,水银扩散泵不太被人们重视,油扩散泵便发展很快。1938年已经出现了金属三级分馏油扩散泵。油扩散泵发展后,在大部分实验室研究工作和工业上的用途上它代替了水银扩散泵。这是因为油的蒸气压比水银小的多。室温下扩散泵油蒸气压在10~(-5)—10~(-9)毫米水银柱范围内,而水银蒸气压大约为10~(-3)毫米水银柱。因此使用水银扩散泵时,必须     

电子敏感CMOS部件除气方法北大核心CSCD

电子轰击有源像素传感器(electron bombarded active pixel sensor,EBAPS)作为真空-固体混合型微光器件,其性能和工作寿命一定程度上取决于器件内部真空度保持情况。分析造成EBAPS器件真空度下降的原因,推断出真空度恶化的严重后果,提出提高和保持EBAPS器件内部真空度的手段,通过搭建超高真空除气系统对EBAPS器件中核心部件电子敏感CMOS部件的放气特性进行了研究,并根据研究结果得到最佳的除气工艺参数,为EBAPS数字化微光器件的制备提供了技术基础。     

锗的正电子表面态的测量研究

通过测量低能正电子入射到锗(Ge)靶的电子偶素产额随靶温度的变化,测定了在真空度为1.33×10^－4Pa时锗的正电子表面态的束缚能E_b=2.2eV;Ps形成的激活能E_a=0.2±0.01eV.讨论了高真空与超高真空条件下E_b,E_a的变化.     

碳纤维阴极的场致发射特性实验研究

 研究了具有一定导电性能的碳纤维的直流场致发射电子束特性，实验分别在大气环境、低真空（10^-1 Pa）及高真空(10^-5 Pa)环境下进行。实验结果表明，碳纤维具有一定的场致发射能力，并且发射特性和发射环境的真空度密切相关。在大气环境下，发射电子束流与所施加的电压符合Fowler-Nordheim关系，当电压为7 kV，电流为61.4 μA时，根据Fowler-Nordheim定理推算出碳纤维场致发射场增强因子为3.75×10⁵。在低真空条件下阳极只收集到微弱的电流；在高真空条件下，阴极发射明显，在较低电压下就能观测到阳极电流，放电前阳极最高电流是大气条件下的3~4倍，发射的束流大小和所施加在尖端的电压关系接近Child-Langmiur定律。     

侧面遮拦式日晕光度计的杂散光理论分析（英文）

提出了一种侧面遮拦结构的日晕光度计,在镜筒内通过设置多层挡板结构逐层抑制处于内视场的挡板边缘衍射光,同时采用倾斜布置的上挡板结构抑制处于外视场的入射窗口边缘衍射光和侧壁散射光.建立数学模型对这些杂散光抑制挡板进行了仿真计算,结果表明,优化各挡板的几何参数后,日晕光度计的设计视场可达3.5~10个太阳半径,视场内的杂散光水平均可低于10~(-8)平均太阳亮度.相对于高山天文台的日晕光度计在4~8个太阳半径的视场内总杂散光达到10~(-7)平均太阳亮度,该日晕光度计扩展了可观测视场,并使杂散光抑制提高了一个量级.     

电离规管保护器

一、概述电离规管是目前应用非常广泛的一种高真空测量传感元件。在工作时其灯丝是处于红热状态,因此对被测气体的真空度有一定的要求,即在压强小于1.3 x 10~(-1)pa(10~(-3)Torr)时才能开启,否则管子的灯丝极易氧化烧断。通常电子管式复合真空计均不具备电离规管保护电路,某些晶体管式的虽有保护电路(如sG-3型及SZ6804B型),     

可用焦耳热除气的超高真空电离真空计

在超高真空范围内使用的电离真空计,要求在使用前将电极进行较彻底的除气,因此最好全部电极都设计为可直接通电加热。本文叙述了两种测量范围为10^-3～10^-11托级的、可用焦耳热除气的电离真空计(热阴极及冷阴极各一种)的设计原则、实际性能及其改进。这两种真空计都曾在实验室使用两年以上,证明具有一定的实用价值,并可作为离子泵及代替一般的高真空计使用。 关键词：