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深度同步辐射光刻初探 总被引：1，自引：0，他引：1
ＬＩＧＡ技术被认为是制作微机械最有前途的方法，而ＬＩＧＡ技术较为关键的一步是深度同步辐射光刻。报道了深度同步辐射光刻的进展，刻蚀出了外圆直径为３８μｍ～３９μｍ，叶长约８μｍ，高约２５μｍ的扇叶状微结构元件。 相似文献
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同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展，适用于深亚微米乃至纳米图形的超微细加工，特别是ＬＩＧＡ的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域，使它不仅适合于超大规模集成电路等平面微结构的加工，也适合于具有复杂构造的三维立体结构和器件的制作，文章简要介绍了ＮＳＲＬ光刻光束线和实验站概况及研究工作进展。 相似文献
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深度同步辐射Ｘ射线光刻技术深度同步辐射Ｘ射线光刻是ＬＩＧＡ技术的关键技术之一，而在８０年代中期，德国Ｗ。Ｅｈｒｆｅｌｄ教授［１］及同事创造的ＬＩＧＡ技术被认为是进行三维超微细加工最有前途的加工方法。ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技... 相似文献
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同步辐射光刻技术是Ｘ射线光刻技术的重要发展，适用于深亚微米乃至纳米级图形的 超微细加工，特别是ＬＩＧＡ技术的出现大大拓展了同步辐射光刻的应用领域．使它不仅适合于超大规模 集成电路等平面微结构的加工，也适合于具有复杂构造的三维立体结构和器件的制作．文章简要介绍了 ＮＳＲＬ光刻光束线和实验站概况及研究工作进展． 相似文献
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微细加工新方法——LIGA技术 总被引：2，自引：0，他引：2
本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果 相似文献
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20 0 1年 10月 12日在中国科学院高能物理研究所报告厅举行了“中国物理学会高能物理分会成立2 0周年纪念大会” ,来自中国科学院基础科学局、科技部基础司、国家自然科学基金委、中国物理学会、中国高等科学技术中心、北京大学、清华大学、复旦大学、中国原子能研究院、中国科学院研究生院、理论物理研究所、高能物理研究所等 2 6个单位的 130多位代表欢聚一堂 (其中历届理事 4 6人 ) ,共同庆祝高能物理分会成立 2 0周年 .学会副理事长黄涛、刘连寿分别主持了上、下午报告会 .中国科学院基础局金铎局长、高能物理研究所陈和生所长分别代表… 相似文献
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“Ｊ Ψ物理”研讨会于 2 0 0 1年 2月 7日至 9日在中国科学院高能物理研究所举行 .会议由中国高等科学技术中心 (ＣＣＡＳＴ)和高能物理研究所共同举办 .出席研讨会的有来自中国科学院高能物理研究所、北京大学、浙江大学、山东大学、武汉大学和河南师范大学等 16个单位的 80多名代表 .研讨会总共安排 2 6个报告 .很多理论物理学家对北京正负电子对撞机上工作的北京谱仪 (ＢＥＳ)的物理研究 ,特别针对 5 0 0 0万Ｊ Ψ数据 ,提出了很多好建议 .会上报告了一些很有意义的实验结果 .会议首先由ＢＥＳ合作组发言人报告了ＢＥＳ的运行状况 ,最近… 相似文献
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北京高压科学研究中心成立大会暨首届学术委员会全体会议于 2 0 0 0年 11月 1日在中国科学院物理研究所召开 .中国科学院白春礼副院长、科技部基础司、中国科学院基础局有关领导和吉林大学、西南物理研究院、中国科学院地质与地球物理研究所、理化技术研究所、广州地球化学研究所、贵阳地球化学研究所等有关单位的代表出席了会议 .白春礼副院长宣布中心成立 .中国科学院外藉院士毛河光教授和赵忠贤院士共同为中心揭匾 .由中国科学院物理研究所、中国科学院高能物理研究所和中国科学院化学研究所等单位共同组建的北京高压科学研究中心将成为… 相似文献
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提出LIGA-EDM复合技术技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术,通过同步辐射尝试光刻得到的胶结构厚度达2mm深宽比约为100,使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工县电极,利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形小孔阵列． 相似文献
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“超精细相互作用与核固体物理”研讨会于2 0 0 1年 2月 13日至 15日在中国高等科学技术中心举行 .研讨会由中国原子能科学研究院、南京大学、兰州大学联合举办 ,学术组织工作由中国原子能科学研究院朱升云研究员承担 .中国原子能科学研究院、南京大学、兰州大学、中国科学院上海原子核研究所、中国科学院高能物理研究所、中国科学技术大学、中国科学院理论物理研究所、北京大学、北京师范大学、北京航空航天大学、内蒙古民族大学等单位近 6 0人参加了研讨会 .2 3人在研讨会上作了学术报告 ,其中青年科技工作者的报告占 5 0 % .研讨会还邀请… 相似文献
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20 0 1年 4月 2日至 5日 ,中国高等科学技术中心和中国科学院高能物理研究所在北京联合举办了“重子结构和重子相互作用”研讨会 .研讨会邀请了在德国图宾根大学获博士学位、现在泰国大学任教的阎宇鹏教授做系列讲座 .高能核散射专家、法国南特大学的Ｗｅｒｎｅｒ教授做了顺访报告 .来自中国科学院高能物理研究所、理论物理研究所、北京大学、清华大学、南京大学、中国科学技术大学、南开大学、山东大学、广西师范大学及中国原子能科学研究院的4 0多位从事该方面研究工作的老、中、青研究人员和专家参加了研讨会 ,共提交了 2 5个学术报告 .… 相似文献
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由中国物理学会同步辐射专业委员会主办 ,中国科学技术大学国家同步辐射实验室、中国科学院高能物理研究所同步辐射室、国家上海同步辐射中心 (筹 )、厦门大学物理与机电工程学院、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光谱技术研究部联合承办的第一届全国同步辐射软Ｘ射线和真空紫外技术与应用学术会议于 2 0 0 0年 11月 2 6日至 2 9日在厦门举行 .全国同步辐射学术界的用户和同行约 70余人 ,参加了这次盛会 ,厦门大学和福建省物理学会的有关领导也应邀出席了会议 .大会由冼鼎昌院士等四位专家作了邀请报告 .冼鼎昌院士在报告中阐述了世… 相似文献
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《现代物理知识》1993,(2)
著名理论物理学家,中国科学院学部委员,中国高能物理学会名誉理事,中国科学院高能物理研究所研究员朱洪元先生,因病医治无效,于1992年11月4日12时57分在北京逝世,享年75岁.朱洪元先生1917年2月出生于江苏宜兴.1939年毕业于同济大学机械系,1945年赴英留学,在P.布莱凯特教授指导下从事宇宙线及基本粒子研究,1948年获英国曼彻斯特大学哲学博士学位,1950年10月回到祖国.回国以后先后在中国科学院近代物理研究所、原子能研究所、高能物理研究所从事研究工作.历任高能物理研究所理论研究室主任(1973—1984)、副所长(1978—1981)、第一副所长(1981—1984)、所科学技术委员会主任(1984—1987)等职.1961年,当选为第三届全国人民代表大会代表,1980年当选为中国科学院学部委员、数理学部常委. 相似文献
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“绿水青山知有君,白云明月偏相识”2002年11月4日是我国著名物理学家朱洪元先生逝世十周年的日子。为此,中国科学院高能物理研究所、中国物理学会高能物理分会于12月2日举办了纪念会。前来赴会的有十几位院士及一百多位朱先生生前好友、同事和学生。纪念会由黄涛研究员主持,中国科学院高能物理研究所所长陈和 相似文献
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我国在自由电子激光技术领域的研究获重大突破性进展.由中国工程物理研究院研制的我国第一台直线感应加速器自由电子激光放大器装置“曙光一号”和由中国科学院高能物理研究所研制的北京自由电子激光装置(BFEL),相继于今年4月和5月运行成功,并产生了亚洲第一束红外自由电子激光,标志着我国激光和加速器研究迈上新的台阶. 1987年以来,国家863计划及时组织开展了自由电子激光的研究.中国工程物理研究院和中国科学院高能物理研究所,组织 100多名科研人员,奋战五年时间,终于成功地设计和建造了具有中国特色的“曙光一号”自由电子激光装置和北… 相似文献
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由中国物理学会粒子加速器分会加速器物理专业组主办 ,中国物理学会同步辐射专业委员会光源物理专业组协办 ,清华大学工程物理系和中国科学院高能物理研究所联合承办的“第七届全国加速器物理学术交流会”于 1999年 7月 2 6日至 8月 1日在黑龙江镜泊湖地区举行 .会议共有全国高等院校和研究单位的共 51名代表参加 .代表来自清华大学、中国科学技术大学、北京大学、复旦大学、兰州大学、中国科学院高能物理研究所、中国科学院近代物理研究所、中国原子能科学研究院、上海同步辐射光源、中国工程物理研究院、比邻研究所等单位 .会议主要内容包… 相似文献
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地球内部物质运动的物理学和化学问题研讨会于 2 0 0 1年 1月 2 0日在中国高等科学技术中心举行 .出席研讨会的有来自南开大学、北京大学、中国科学院高能物理研究所、化学研究所、国家地震局地质研究所、中国地质学会、中国地质科学院地质研究所、中国地质科学院矿产资源研究所、国土资源部(原地质矿产部 )地球化学动力学开放实验室等单位的 16名代表 .此次研讨会同时是国土资源部地球化学动力学开放实验室学术年会 .研讨会不仅安排了学术报告 ,而且在发言过程中展开了热烈的讨论 ,内容涉及地球内部极端条件下的物质基本性质 ,高温高压对物… 相似文献
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自七十年代中期,第一批计算机控制的亚微米对准精度的扫描电子束光刻机问世以来不到十年,一个引人注目的新技术领域──微细加工技术随之发展起来.人类有可能用这新技术来获得亚微米级(<1μm)、毫微米级(nm)的尺寸.电于束光刻在微细加工技术中份演着重要角色.超大规模集成电路、高速器件、超导结器件、声表面波换能器、高密度磁泡存贮器、集成光学元件、材料科学以及生物学等领域,都需要加工更小的尺寸.微细加工技术通常包括微光刻技术.干法腐蚀技术.离子注入技术和超薄层形成技术等.微光刻技术是形成微细图形和转移图形的重要技术.历史悠久… 相似文献