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| 深度同步辐射X射线光刻技术 | |
| 引用本文： | 田扬超.深度同步辐射X射线光刻技术[J].物理,1995,24(2):125-125. |
| 作者姓名： | 田扬超 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室 |
| 摘 要： | 深度同步辐射Ｘ射线光刻技术深度同步辐射Ｘ射线光刻是ＬＩＧＡ技术的关键技术之一，而在８０年代中期，德国Ｗ。Ｅｈｒｆｅｌｄ教授［１］及同事创造的ＬＩＧＡ技术被认为是进行三维超微细加工最有前途的加工方法。ＬＩＧＡ技术是深度Ｘ射线刻蚀、电铸成型和塑料铸模等技... |
| 关 键 词： | 同步辐射 X射线 光刻 |
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