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| 微细加工新方法——LIGA技术 | |
| 引用本文： | 田扬超.微细加工新方法——LIGA技术[J].物理,1996(2). |
| 作者姓名： | 田扬超 |
| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室!合肥230026 |
| 摘 要： | 本文介绍了一种微细加工新方法 ＬＩＧＡ（ｉｎ Ｇｅｒｍａｎ ＬＩｔｈｏｇｒａｈｙ，ＧａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇＡｂｆｏｒｍｕｎｇ）技术的基本原理及特点．同时还简单说明了这种方法的技术要求．报道了国内外在这方面开展研究的成果 |
| 关 键 词： | 微细加工 深度X线刻蚀 三维立体加工 应用 |
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