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相似文献
 共查询到20条相似文献,搜索用时 109 毫秒
1.
丁文革  苑静  李文博  李彬  于威  傅广生 《光子学报》2014,40(7):1096-1100
采用紫外-可见透射光谱仪测量了对靶磁控溅射沉积法制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜的透射光谱和反射光谱.利用T/(1-R)方法来确定薄膜的吸收系数,进而得到薄膜的消光系数|通过拟合薄膜透射光谱干涉极大值和极小值的包络线来确定薄膜折射率和厚度的初始值,并利用干涉极值公式进一步优化薄膜的厚度值和折射率|利用柯西公式对得到的薄膜折射率进行拟合,给出了a-Si:H薄膜的色散关系曲线.为了验证该方法确定的薄膜厚度和光学常量的可靠性,将理论计算得到的透射光谱与实验数据进行了比较,结果显示两条曲线基本重合,可见这是确定a-Si:H薄膜厚度及光学常量的一种有效方法.  相似文献   

2.
光纤白光干涉法与膜厚纳米测量新技术研究   总被引:6,自引:3,他引:3  
运用薄膜光学干涉原理、光纤技术和干涉光谱分析技术,用光纤反射式干涉光谱仪(Reflectromic Interference Spectroscopy)直接测试宽带入射光在单晶硅表面超薄SiO2膜层前后界面反射形成的干涉光谱曲线,并用专业软件对被测光谱信号数据处理后,可直接用公式准确计算出SiO2氧化膜的厚度和光学折射率通过对单晶硅片表面超薄SiO2氧化膜的实测,并与成熟的椭圆偏振仪测试结果相比,测试误差≤2nm但该方法测试简单、快速,精度高,不需要制定仪器曲线和数表,可对薄膜任意位置的厚度在线测试经过对不同厚度聚苯乙烯薄膜的厚度测试表明,该方法适合0.5~20μm薄膜厚度的精确在线测量,测量误差小于7nm.  相似文献   

3.
基于双轴双折射薄膜模型,利用在不同入射角度下薄膜对两种偏振态光波透射光谱,同时获得"雕塑"薄膜主轴折射率N1,N2,N3和薄膜厚度d及柱状角β等参数。基于倾斜沉积技术,利用电子束反应蒸发方法制备了氧化钽"雕塑"薄膜。借助于模拟退火算法,对入射角度为0,20°,30°,45°和60°时两种偏振态光波的透射光谱进行拟合,确定了氧化钽"雕塑"薄膜的结构参数,并与场发射扫描电镜测量的薄膜结构进行了比较。结果表明,利用透射光谱曲线可以较为准确地获得"雕塑"薄膜的结构参数。  相似文献   

4.
基于经典的色散理论建立的单振子光谱分析模型,通过理论推导,借助计算机辅助处理,提出了一种比较简捷直观的只利用垂直透射光谱对薄膜光谱进行分析的方法.利用这种方法分析了直流溅射制备的ZnO薄膜的透射光谱,计算出了薄膜在透明振荡区的折射率色散关系以及厚度等参量,并对分析方法给出了验证.  相似文献   

5.
利用透射光谱矩阵光学原理,对三种GaN或AlGaN外延薄膜的透射光谱进行了分析.在传统的透射光谱拟合方法的基础上,添加了表征材料表面粗糙度、膜内散射情况的拟合参量,拟合曲线与实验曲线达到了准确的吻合.结果表明:外延薄膜透射光谱的拟合可以准确提取出材料的消光系数、表面状况、散射情况、折射率及厚度,从而对样品质量作出详细的分析.  相似文献   

6.
X射线衍射光谱、拉曼光谱和紫外可见透射光谱技术是薄膜材料检测的重要技术手段。通过对薄膜材料光谱性能的分析,可以获得薄膜材料的物相、晶体结构和透光性能等信息。为了解厚度对未掺杂ZnO薄膜的X射线衍射光谱、拉曼光谱和紫外可见透射光谱性能的影响,利用溶胶-凝胶法在石英衬底上旋涂制备了不同厚度的未掺杂ZnO薄膜样品,并对薄膜样品进行了X射线衍射光谱、拉曼光谱和紫外可见透射光谱的检测。首先,通过X射线衍射光谱检测发现,薄膜样品呈现出(002)晶面的衍射峰,ZnO薄膜为六角纤锌矿结构,均沿着C轴择优取向生长,且随着薄膜厚度的增加,衍射峰明显增强,ZnO薄膜的晶粒尺寸随着膜厚的增加而长大。利用扫描电子显微镜对薄膜样品的表面形貌分析显示,薄膜表面致密均匀,具有纳米晶体的结构,其晶粒具有明显的六角形状。通过拉曼光谱检测发现,薄膜样品均出现了437 cm-1的拉曼峰,这是ZnO纤锌矿结构的特征峰,且随着薄膜厚度的增加,其特征拉曼峰强度也增加,进一步说明了随着ZnO薄膜厚度的增加,ZnO薄膜晶化得到了加强。最后,通过紫外可见透射光谱测试发现,随着膜厚的增加,薄膜的吸收边发生一定红移,薄膜样品在可见光区域内的透过率随着膜厚度增加而略有降低,但平均透过率都超过90%。通过对薄膜样品的紫外-可见透射光谱进一步分析,估算了薄膜样品的折射率,定量计算了薄膜样品的光学禁带宽度,计算结果表明:厚度的改变对薄膜样品的折射率影响不大,但其禁带宽度随着薄膜厚度的增加而变窄,且均大于未掺杂ZnO禁带宽度的理论值3.37 eV。进一步分析表明,ZnO薄膜厚度的变化与ZnO晶粒尺寸的变化呈正相关,本质上,吸收边或光学禁带宽度的变化是由于ZnO晶粒尺寸变化引起的。  相似文献   

7.
利用Hitachi U-4100型紫外-近红外分光光度计测量了ZnO和ZnO:Al薄膜在240~2 100nm波长范围内的透射光谱,根据介质的洛伦兹和德鲁德色散模型,利用matlab自带的遗传算法工具箱,对实验测量的透射光谱进行了数据拟合,得到了与实验符合的很好的拟合曲线,并得到了薄膜厚度,折射率、消光系数的色散曲线。  相似文献   

8.
基于透射谱的GaN薄膜厚度测量   总被引:10,自引:0,他引:10       下载免费PDF全文
张进城  郝跃  李培咸  范隆  冯倩 《物理学报》2004,53(4):1243-1246
通过对蓝宝石衬底异质外延GaN薄膜光学透射谱的分析,结合晶体薄膜的干涉效应原理并考虑折射率随光子波长变化的影响,从理论上推导出了实用的薄膜厚度计算方法. 实际应用表明,该方法是一种快速准确的GaN薄膜厚度测量方法. 关键词: GaN 透射谱 厚度测量  相似文献   

9.
用迈克尔逊干涉仪测量单层薄膜的厚度和折射率   总被引:4,自引:0,他引:4  
薄膜厚度的测量是薄膜科学的重要分支之一,本文讨论用迈克尔逊干涉仪观察白光等厚彩色干涉条纹方法,从而确定薄膜的厚度和折射率,该方法的优点是测量精度高,原理简单,在一次测量过程中可同时确定薄膜的厚度和折射率。  相似文献   

10.
GaN是一种理想的紫外发光和探测材料,其光学特性参数是光学器件设计的重要依据。采用紫外反射与透射光谱相结合的方法对国产GaN外延层进行光学特性测量,利用反射率与折射率之间的关系和薄膜干涉效应,建立了GaN外延层厚度、表面反射率、光谱吸收系数的光谱测量公式。测量结果表明,GaN外延层在紫外波段存在三个吸收区,其中364nm以下波段为强吸收区,吸收系数接近10^5cm^-1,364~375nm为吸收过渡区,375nm以上波段为弱吸收区;GaN表面反射率在三个吸收区的变化不大,为0.2~0.25之间。  相似文献   

11.
12.
为了提高LED光源色温和亮度的调节精度和准确度,结合色温由低向高变化时光色所呈现的渐变特点,提出了一种低色温白光LED灯珠、高色温白光LED灯珠加红绿蓝光LED灯珠补偿式调光的方法.将色温分成三个部分进行调节,每个部分选用不同的LED灯珠组合来进行调光.实验结果表明:不同组合情况下的LED光源的初始输出色温相对于目标值的偏差范围在1%以内;亮度可以在保证色温不变的情况下独立进行调节,初始输出值与目标值的偏差范围在1%以内;经过微调之后可以达到目标值;达到了色温和亮度独立调节的要求;光源发光稳定,不会因为长时间工作而影响调节精度.  相似文献   

13.
The relative stability of alternative carbon nanoparticles with icosahedral symmetry, such as diamond-like nanocrystallites and multiwalled fullerenes (onions), is investigated using the parametric model and the density functional tight-binding (DFTB) method. It is demonstrated that an increase in the size of particles and their hydrogenation favor the stabilization of diamond-like nanocrystallites. The formation of “intermediate” nanostructures consisting of diamond-like nanocrystallites inside the fullerene cage is revealed. The electronic spectra of icosahedral carbon nanoparticles are calculated.  相似文献   

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Muonic and pionic X-rays of the L- and M-series in C and O have been measured with a Si(Li) detector in the energy range between 7 keV and 60 keV. The target consisted of mylar (C5H4O2). Energies and intensities of 21 transitions have been determined. The strong interaction shift of the pionic 2p level in O was measured and found to be +4.1 ±2.3 eV. The measured width of this level is 11±6 eV. The measured yields have been compared with cascade calculations.  相似文献   

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This is a further development of the author's paper A Unified Theory of Biology and Physics. It is found that male and female in biology, as well as particle and antiparticle in physics, are analogues of symmetrical sideband pairs in communication theory. This gives a new point of view from which to investigate the significance and characteristics of these different paired entities.These findings are intimately related to the fact that there are two transform domains of representation of entities in all the cases involved. They are the somatic and the genetic domains in biology, the configuration domain and the domain of conserved observables in physics, and the time and frequency domains in communication.  相似文献   

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It was shown in the early seventies that, in Local Quantum Theory (that is the most general formulation of Quantum Field Theory, if we leave out only the unknown scenario of Quantum Gravity) the notion of Statistics can be grounded solely on the local observable quantities (without assuming neither the commutation relations nor even the existence of unobservable charged field operators); one finds that only the well known (para)statistics of Bose/Fermi type are allowed by the key principle of local commutativity of observables. In this frame it was possible to formulate and prove the Spin and Statistics Theorem purely on the basis of First Principles.  相似文献   

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