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相似文献
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1.
应用LAS-2000二次离子质谱表面分析系统作了如下测量:(1)测出HL-1装置的总出气量以及其主要出气组分的出气量百分比和出气峰值温度等参数;(2)对等离子体-表面相互作用进行了SIMS/蒙特卡洛互补分析,测出等离子体边界层中氢气量径向特征长度和氢粒子注入硅片的特征深度,估算出氢通量平均动力温度;(3)对硅收集探针的SIMS/AES分析表明,HL-1等离子体删削层中主要杂质组分为O、C、Ni、Mo和Cr,同时给出原子密度相对百分比;在HL-1装置中用原位蒸钛来吸氧、碳杂质,从而提高了等离子体纯度和品质;(4)定期检测表明,装置的器壁表面污染呈减弱趋势,这说明HL-1真空系统的设计研制及运行维护技术措施等是合适的。  相似文献   

2.
本文扼要地介绍了几种工业中常用的现代表面分析仪器和方法,如俄歇电子谱(AES)、X-射线光电子谱(XPS)[或称化学分析用电子谱(ESCA)]、二次离子质谱(SIMS)等的基本工作原理、仪器结构、使用方法及其特点,简单讨论了与表面分析有关的超高真空技术、样品表面的清洁、离子束溅射及无损检测等问题.  相似文献   

3.
用光学多道分析仪(OMA-3)考察了表面波型微波感耦氖气离子(Ne-MIP)的发射光谱。经过Abel反演后,得到了各种气压和微波功率下Ne-MIP光谱辐射光强和激发温度的空间分布及其变化规律,讨论了等离子体的激发机理,推算了亚稳态原子的空间分布情况。  相似文献   

4.
在27keV Ar+离子轰击时,用收集膜技术结合俄歇谱仪(AES),研究了三元合金Cu76Ni15Sn9系统的择优溅射行为。同时使用扫描电子显微镜(SEM)与电子探针微分析(EPMA).观察了靶点表面形貌变化并测定了形貌特征微区的合金组份原子的相对百分浓度。结果表明,Cu原子较Ni原子、Ni原子较Sn原子,在所测定范围(0─60°)内择优发射。最后讨论了靶点表面形貌特征和“元素局域富集”现象对择优溅射过程的影响。 关键词:  相似文献   

5.
MBE生长氮化镓薄膜的X光电子谱和俄歇电子谱分析   总被引:1,自引:0,他引:1  
用X光电子谱和俄歇电子能谱的方法对射频等离子体辅助分子束外延(MBE)技术生长的氮化镓(GaN)薄膜进行了表面分析和深度剖析.发现薄膜实际表面存在O和C吸附层,C主要为表面污染,而O形成一定的深度分布,从而影响氮化镓薄膜的电学和光学性质.  相似文献   

6.
王震遐  潘冀生  章骥平  朱福英 《物理学报》1994,43(11):1816-1820
利用微束卢瑟福背散射能谱(M-RBS)分析方法,对Al70Sn30合金表面的两种微相区(Al富集相区和Sn富集相区),在27keVAr+离子轰击(总剂量为1.4×1018Ar+/cm2)前后,分别测定了Sn原子的深度分布。实验结果表明,在Al富集相区和Sn富集相区之间,以及各相区在离子溅射前后,Sn原子浓度深度分布曲线是不相同的。  相似文献   

7.
王震遐  潘冀生 《物理学报》1994,43(11):1816-1820
利用微束卢瑟福背散射能谱(M-RBS)分析方法,对Al70Sn30合金表面的两种微相区(Al富集相区和Sn富集相区),在27keVAr+离子轰击(总剂量为1.4×1018Ar+/cm2)前后,分别测定了Sn原子的深度分布。实验结果表明,在Al富集相区和Sn富集相区之间,以及各相区在离子溅射前后,Sn原子浓度深度分布曲线是不相同的。  相似文献   

8.
用电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)对鲨鱼有进行全元素的半定量分析。用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)对其进行微量元素测定,选用钇作内标元素,可较好地克服基体效应,所研究元素的回民率在81.6-100.7%之间,铁、锌、硒、铜、锰、钼,钛和锶等元素的测定下限分别是:0.60、0.55,0.21,0.39,0.042,0.27,0.038,0.48μg.g^-1,实验表明鲨鱼软骨含有  相似文献   

9.
卫星  蒋维栋  周国良  俞鸣人  王迅 《物理学报》1991,40(9):1514-1519
用氩离子刻蚀和俄歇电子能谱测量GexSi1-x/Si应变层超晶格的成分深度分布,得到Ge,Si两种成分随深度的周期性变化,在二次电子象中观察到刻蚀坑边缘的明暗交替的周期性结构。讨论了用俄歇深度剖面分布作超晶格结构分析的特点及其局限性。 关键词:  相似文献   

10.
本文报道了利用微波诱导等离子体原子吸收光谱法(MIP-AAS)对实际土壤中铜(Cu)的测定方法。  相似文献   

11.
ICP-AES法分析水质的探讨   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文用ICP-AES(电感耦合等离子体-原子发射光谱法)测定水中Al、B、Ba、Be、Ca、Cd、Co、Cr、Cu、Fe、Mg、Mo、Mn、Ni、Pb、Sr、V、Zn等18种微量元素。方法简便、快速,只将样品简单酸化,即可测定。方法检出限为0.0005-0.5μg/mL。相对标准偏差<18%  相似文献   

12.
简要介绍了几种俄歇参数定义以及俄歇参数图中涉及的原子外部驰豫能和俄歇双电离体系终态能,最后评述它们的应用。  相似文献   

13.
用原子束技术--ICE分步激发方案--激光共振电离--飞行时间质谱探测离化信号的方法,观察到了原子束中镁Mg原子3p9d(J=1,3)的自电离谱,并对实验结果进行了讨论和分析。  相似文献   

14.
对Hg1-xDdxTe(HCT)晶体表面上由电化学阳极化生长的氧化膜进行了俄歇电子能谱分析,并经Ar^+离子蚀刻,研究了薄膜及其与底晶的界面层的深度元素分布和化学计量,估计了可能生成的化合物,阐述了阳极化过程中电流密度,糟电压及电解质溶液浓度对阳极化膜的AES的影响。  相似文献   

15.
因子分析法校正ICP-AES中光谱干扰及与其他方法的比较   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文将目标变换因子分析用于电感耦合等离子体原子发射光谱分析(ICPAES)中光谱干扰的校正,对因子分析法校正谱线重叠和结构背景干扰作了较详细的讨论。  相似文献   

16.
石墨的化学腐蚀实验是在LAS-2000二次离子质谱仪的分析室中进行的,用高能氘离子束或与电子束联合辐照石墨,石墨温度从300-1000KW可调。辐照下释放的产物用四极质谱探头进行了质谱分析,得到了1.3μA、3keV氘束轰击下DSMF-800石墨释放氘甲烷的温度特性,在780K处有一释放高峰。  相似文献   

17.
Si{111}的吸附表面结构   总被引:1,自引:1,他引:0  
利用低能电子衍射研究了金属和非金属吸附在Si{111}表面的表面结构。结果显示出:对Al、Ga、Bi和Au原子,形成α-Si{111}3×3R30°-M或β-Si{111}3×3R30°-M结构的共价吸附。对Li、Na和Ag原子,形成正离子吸附,全部经高温解吸后,便诱导出Si{111}1×3重构。对Te原子,形成负离子吸附,经高温解吸后,便诱导出Si{111}类(1×1)结构。  相似文献   

18.
聂西凉  叶亦英 《计算物理》1995,12(3):320-324
用两种不同的嵌入原子法(即EAM和MEAM)计算了Al的结合能、层错能,并考察了它的稳定性,发现用修正嵌入原子法计算出的结果与已有的实验和理论结果基本一致,作者认为对立方晶系材料,原子的电子密度可用自由原子外层电荷密度的线性迭加表示,而不用修正嵌入原子法中的解析拟合过程表示。  相似文献   

19.
火焰原子吸收法测定有机锗(Ge-132)中的锗,线性浓度范围为0-1.25mg/mL,方法精度为1.2%,相对标准偏差〉2%,平均回收率为99.5%,杂质Pb和As用塞曼石墨炉原子吸收测定,Pb用(NH4)2HPO4+Mg作改进剂,As用Pd作改进剂,特征质量分别为8.2pg和8pg,相对标准偏差分别为2.1%和2.2%,并讨论了有关机理问题。  相似文献   

20.
用放射性核素标记抗肿瘤单克隆抗体(McAB)-直是核药物化学组的研究重点,研究出一个制备超纯无载体^111In的方法,通过双功能连接剂DTPA环酐将其标记于抗肿瘤McAB在临床实验中获得成功,用直接标记法制备的^99Tc标McAB片段在诊断胃癌方面性能优良,此外,还进行了两种标记法的方法学及Tc和Re的配位化学研究,用加速器质谱计(AMS)研究化学物质与DNA的加合作用及其遗传病毒性是另一个研究方  相似文献   

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