先进光刻胶材料的研究进展

本文简述了光刻技术及光刻胶的发展过程,并对应用于193纳米光刻和下一代EUV光刻的光刻胶材料的研究进展进行了综述,特别对文献中EUV光刻胶材料的研发进行了较为详细的介绍,以期对我国先进光刻胶的研发工作有所帮助.     

印刷制版用的光刻胶

介绍现代印刷制版所用光刻胶,着重介绍正性光刻胶的感光机理,对负性光刻胶和免处理光刻胶的基础知识进行了扼要介绍。可作为高中化学阅读材料,供一线教师选用。     

高分辨率极紫外光刻胶的研究进展

自集成电路芯片诞生半个多世纪以来,芯片尺寸在不断减少,以极紫外光刻为代表的光刻技术也有了显著的发展。同时,实现更高精度的光刻图案需要更加先进的光刻胶材料。传统的聚合物光刻胶材料因其相对分子质量大、高精度条纹易坍塌等缺陷使其使用受到限制。以分子玻璃和无机金属配合物光刻胶为代表的相对分子质量小、结构均一的新型光刻胶材料在国内外得到了广泛发展。本文对现阶段新型极紫外光刻胶材料的发展现状和趋势做了评述。     

多光子光刻用的杯[4]芳烃分子玻璃正性光刻胶

分子玻璃材料和多光子光刻技术分别是近年来光刻胶和光刻技术领域的研究热点.本文对分子玻璃正性光刻胶在多光子光刻中的应用进行了探索,设计合成了叔丁氧基羰基保护的杯[4]芳烃衍生物分子玻璃材料,将其作为主体材料与光生酸剂三氟甲磺酸三苯锍鎓盐进行复配,制备了分子玻璃正性光刻胶,探讨并优化了光刻胶的成分配比及其在紫外光曝光下的显影工艺.利用780nm波长飞秒激光对所制备的分子玻璃正性光刻胶进行了多光子光刻特性的评价,实验得到了最低线宽180nm的线条和复杂的二维微结构图形,结果表明杯[4]芳烃衍生物分子玻璃正性光刻胶有望应用于多光子光刻技术.     

含POSS光刻胶材料研究进展

光致抗蚀剂又称光刻胶,是微电子加工过程中的关键材料。多面体低聚倍半硅氧烷（POSS）是一种具有规则的笼型结构的聚合物增强材料,由POSS改性的聚合物实现了有机-无机纳米杂化,POSS刚性结构的引入阻碍了聚合物分子的运动,可以显著提高聚合物的玻璃化转变温度（T_g）,降低聚合物的介电常数,提高聚合物的力学性能,也提高了含POSS光致抗蚀剂的耐蚀刻性。基于这些优点,含POSS的光刻胶材料得到广泛关注。本文对含POSS光刻胶的研究进展作了简要介绍。     

g-线/i-线光刻胶研究进展

光刻胶是半导体领域中不可或缺的关键材料。光刻胶行业常年被日本和美国等国家所垄断,随着国际竞争的日益激烈,光刻胶国产化迫在眉睫。本文针对g-线(436 nm)和i-线(365 nm)光刻胶进行了总结,按照其组成不同,将其分为酚醛树脂/重氮萘醌、化学放大胶和分子玻璃等类型,并分别进行介绍。目前,市场用量较大的g/i-线光刻胶主要是酚醛树脂/重氮萘醌系列,本文详细介绍了国内外对酚醛树脂/重氮萘醌的研究报道,阐述了其曝光机理以及光敏剂、添加剂等对光刻胶性能的影响。本文期望能对g-线/i-线光刻胶的开发提供参考。     

玻璃微流控芯片廉价快速制作方法的研究

研究了一种玻璃微流控芯片的快速、低成本制作工艺和方法. 该方法采用商品化的显微载玻片(soda-lime玻璃)作为芯片基质材料, 利用AZ 4620光刻胶代替传统工艺中的溅射金属层或多晶硅/氮化硅层作为玻璃刻蚀的掩膜层, 同时利用一种紫外光学胶键合方法代替传统熔融键合方法实现芯片的键合, 整个工艺对玻璃基质材料要求低, 普通微流控芯片(深度小于50 μm)制作流程仅需约3.5 h, 可降低制作成本, 缩短制作周期. 还系统地研究了光刻胶厚度、光刻胶硬烘时间和玻璃腐蚀液配比对玻璃微流控芯片制作的影响, 获得了优化的工艺参数.     

光刻与光刻胶的研究与发展

本文介绍用于超大规模集成电路的光刻技术及其光刻胶,包括化学增值型光刻胶和无显影气相光刻胶等的研究进展和发展趋势.     

酸敏变色片——一种新辐射敏感材料

随着电子技术及半导体工业的迅速发展,出现了许多记录电子束的材料。除卤化银材料外,还有光刻胶,热塑材料,液晶等。卤化银材料与光刻胶虽有较高的灵敏度及分辨力,但需要湿法显影、定影,暗室操作,使用不方便。液晶虽手续简单,能及时显示,但分辨力低。且不能贮存图像。热塑材料虽能实时显示和记录图像,但需要比较复杂的纹影光学系统,对记录材料的光学质量要求很高,难于达到。近年来我们研制的酸敏变色片则具有多种优点。它具有较高的灵敏度,达7.2×10~(-3)焦耳/cm~2,分辨力不低于500线对/mm,无     

化学增幅型光刻胶材料研究进展

芯片集成度的提高促使光刻胶向高分辨率方向发展,光刻技术由紫外全谱曝光发展到单一短波长曝光,为满足光刻胶高感度、高分辨率的要求,化学增幅型光刻胶应运而生。"化学增幅"可以提高光刻胶的量子产率,增强光刻胶感度,在深紫外、极紫外光刻中得到广泛应用。而高性能树脂作为光刻胶的成膜剂,对光刻胶的性能有重要影响,不同的树脂结构对应不同的反应机理。本文重点对化学增幅型光刻胶中的脱保护、重排、分子内脱水、酯化缩聚、交联、解聚等反应进行了总结,并介绍了对应的树脂结构。     

电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法测定玻纤滤筒中金属元素本底值的预处理方法探讨

探讨了不同预处理方法对国产玻纤滤筒本底值的降低效果,便于废气样品的分析测定。分别对空白滤筒、热硝酸、硝酸+硫酸和硝酸+EDTA、HCl处理后的滤筒进行分析,测得滤筒中金属元素的含量;对处理效果较好的一批滤筒进行空白加标,考察加标回收率,全程用电感耦合等离子体质谱(ICPMS)法对样品进行测定,结果发现空白滤筒中部分金属元素含量较高;热硝酸处理后,滤筒本底中铅含量有所降低,但其它元素去除效果不显著;硝酸+硫酸处理后,滤筒中铅含量剧增;硝酸+EDTA处理滤筒,铅可以得到较好的去除效果,大部分金属元素含量有了明显降低;基于HCl对金属有较好的溶出效果,浸泡可较好地降低滤筒中金属元素的含量,但大量氯离子存在对ICP-MS法测定的干扰较大。对硝酸+EDTA处理后的滤筒进行空白加标,大部分金属元素加标回收率75%。故以硝酸+EDTA处理玻纤滤筒可以使国产玻纤滤筒适用于废气样品的分析。     

自由基聚合速率的深入讨论

自由基聚合是高分子化学课程中的重要一章,自由基聚合动力学(包括聚合速率、平均相对分子质量及分布)是教学中的重要内容。本文讨论了建立自由基聚合微观动力学模型的基础:三个基本假设和四个简化条件,阐释了传统单官能度引发剂引发的聚合体系速率方程推导中这些假设和条件的运用,并扩展到双官能度引发剂体系,得到基元反应速率和总速率。提出从三个层次讨论影响自由基聚合速率的因素,深化了对自由基聚合速率教和学。     

Effects of sublethal doses of gamma rays on the accumulation of zinc in mice fed the higher concentration diets

This paper reports preliminary studies on the mechanism of the mortality reduction effects in sublethally irradiated mice by administration of zinc at the high concentration. At first, accumulations of 65Zn in non-irradiated mice, which were orally administered with the artificial diet containing the radio-tracer and the stable metal at the high concentration (1,000 ppm), were investigated, and compared with those in mice which were administered with the artificial basal diet containing the tracer (control). Then the irradiation effects of 60Co gamma-ray at the sublethal dose on the accumulation were studied. The concentrations of zinc in whole body, tissues and organs of non-irradiated mice which were administered with the former diet were 2-fold higher than in the mice which were administered with the latter diet (control). But the accumulation of the tracer was affected by the irradiation, i.e. the concentrations in tissues and organs (except for blood and bone) of irradiated mice were lower than those in non-irradiated mice. However, the concentration in spleen of irradiated mice was remarkably higher than in the other tissues.     

Two new xanthone diglycosides from Swertia longifolia Boiss

From aerial parts of Swertia longifolia Boiss., which grows in the north of Iran, five xanthones, two of which in diglycosidic form, were isolated. The structures were confirmed by means of their spectral data as isobellidifolin, bellidin, gentisein, 1,5-dihydroxy-3-methoxy-6-O-primeverosyl xanthone, and 8-hydroxy-3,5-dimethoxy-1-O-primeverosyl xanthone, the latter two of which were new derivatives in the plant kingdom.     

体系pH值、乳化温度和电解质离子对异丙甲草胺水乳剂稳定性的影响

通过测定药物液滴的平均粒径和Zeta电位研究了体系pH值、 乳化温度和电解质离子对乳化剂三苯乙烯基苯酚聚氧乙烯醚磷酸酯三乙醇胺盐(SCP)稳定的异丙甲草胺水乳剂稳定性的影响. 结果发现, 体系的pH值影响SCP分子在水中的电离能力, 当pH=9时, SCP完全电离, 能为液滴提供较大的静电稳定作用, 水乳剂稳定性最好; 乳化温度低时, SCP分子向液滴界面扩散慢, 且舒展不完全, 液滴所带负电荷较少, 水乳剂稳定性差; 温度升高后, 水相黏度减小, 布朗运动加剧, 液滴碰撞合并几率增大, 且SCP分子热运动增强, 易从界面逃逸, 液滴间静电斥力减弱, 同时SCP亲水性下降, 水乳剂稳定性变差; 电解质离子会压缩界面双电层, 降低Zeta电位, 液滴带电量减少而聚结, 离子浓度越大, 电荷数越大, 水乳剂稳定性越差. 在相同的离子浓度下, 水合半径小的Ca²⁺压缩双电层能力强于Mg²⁺, 添加Ca²⁺后水乳剂稳定性更差.     

生物技术培养银杏发根中的黄酮分析研究

本文研究了银杏发根中黄酮含量的高效液相色谱（ＨＰＬＣ）分析方法,改进了样品预处理过程,实行提取、水解同步进行,并与天然银杏树叶中的黄酮进行了对照,分析结果表明,采用生物技术培养的银杏发根中确实含有银杏黄酮。     

凝胶渗透色谱-气相色谱串联质谱法测定动物脂肪中164种农药残留

建立了气相色谱-串联质谱法(GC-MS-MS)同时测定动物脂肪中164种农药的多残留分析方法。样品经乙腈均质提取2次,合并提取液并在45℃水浴中旋转浓缩至1 mL,加入5 mLV(环己烷)∶V(乙酸乙酯)=1∶1进行溶剂交换2次后,用V(环己烷)∶V(乙酸乙酯)=1∶1稀释至10 mL,用凝胶渗透色谱(GPC)净化,GC-MS-MS多反应监测模式(MRM)测定,内标法定量。本方法研究的164种农药的线性相关系数为0.9438~1.0000,其中有154种在0.9900以上,占总数的93.9%。方法检出限(S/N≥3)为0.1~360.0μg/kg,其中在10.0μg/kg以下的有121种,占研究农药总数的73.8%。用猪、鸡、牛、羊4种不同的脂肪在低、中、高3个添加水平评价了164种农药的方法效率,其中有150种的回收率在70%~120%之间,相对标准偏差(RSDs)在20%以内。本方法适用于不同动物脂肪中150种农药多残留的定量测定和14种农药的定性测定。     

应用反射式飞行时间质谱仪研究氨团簇离子解离动力学

用直射式和反射式飞行时间质谱研究了氨分子团簇体系在 355 nm激光下的多光子电离,得到一系列的质子化团簇离子 (NH3)nH+,同时还观察到超价氨团簇离子 (NH3)n H2＋。在反射式飞行时间质谱研究中观测到质子化氨团簇离子在自由飞行过程中的解离现象,表明在该实验条件下生成的质子化氨团簇离子是一些亚稳态团簇离子。对子离子产率的分析,得到质子化团簇离子解离速率常数,从而可以估计亚稳态团簇离子的寿命。团簇尺寸从 n＝3增大到 20,其寿命从 21 ms减小到 120 μs,大约小了两个数量级。解离速率在 n＝5到 6有一个阶跃式上升,这是由于 5个氨组成的质子化团簇离子(NH3)4NH4+ 的结构相对比较稳定。     

GC-MS分析大蒜中的挥发油和大蒜精油

采用气相色谱—质谱法,分析比较大蒜中的挥发油以及大蒜精油的化学成分,通过非负矩阵因子分解(NMF)方法解析色谱重叠峰,并用峰面积百分比法计算各化学成分的峰面积相对百分含量。确定了大蒜中37种化学成分,其中含硫化合物34种,大蒜精油中的32种化学成分,含硫化合物28种。     

Evidence of tin and other anthropogenic metals in particulate matter in Lisbon, Portugal

Thermal and epithermal neutron activation analysis techniques were used to analyze 27 Teflon air filters which were exposed to ambient air in Lisbon, Portugal, in February 2007. Tin was detected which is strongly suggestive of an anthropogenic source. Arsenic, antimony and copper were shown to be highly correlated, which is also suggestive of anthropogenic pollution. Trace element analysis of short- and medium-lived isotopes was performed yielding concentration information of various elements. Analytical sensitivities were enhanced using a Compton suppression system. Enrichment factor analysis shows that arsenic, tin, zinc, copper and antimony are at elevated concentrations in the Lisbon atmosphere.