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基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究 总被引:1,自引:1,他引:0
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10 min内由13 nm降低到5 nm以内,满足压印光刻在100 mm行程中达到20 nm定位准确度要求. 相似文献
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“任意反射面的速度干涉仪”VISAR(Velocity Interferometer System for Any Reflector)技术,已成为诊断冲击作用下样品自由面速度剖面或粒子速度剖面的主要技术。其主要优点在于能够对高速度、高加速度运动事件进行非接触的连续测试。 相似文献
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美国科学家计划建造记录强大引力波的两个大型观测站,这项计划由加利福尼亚理工学院和马萨诸塞理工学院共同实施。众所周知,曾被爱因斯坦预言存在的引力波应该是由于巨大太空灾变而产生的时空连续统一体,巨大太空灾变是指超新星爆发、黑洞形成或近距离恒星作用等。但是迄今为止一直没有能成功发现引力波踪迹,为了记录引力波踪迹建造的LIGO观测站将由两个直径超过1米像“L”字母形式放置的空心圆柱体组成。两圆柱体内将保持超真空状态,它们的长度达到整整4000米。每个圆柱体内部将安放激光干涉仪:一边放有激光光源和激光自动记录仪,另一边是用导线悬挂带有反射镜面的重物。 相似文献
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用迈克耳逊干涉仪测量气体折射率的误差的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
研究在用迈克尔逊干涉仪测量气体折射率时存在的系统和方法误差,提出了误差修正方法。 相似文献
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在迈氏仪上用白光干涉测量的方法 总被引:5,自引:3,他引:2
在迈氏仪上用白光干涉测量的方法陶振英(锦州师范学院物理系)本文提出了在迈克尔逊于涉仪上,使用白光作光源发生干涉形成的彩虹图象,测量某些介质厚度或折射率的新方法.它比用钠光作光源的情况下,更具有原理简单,实验方便,测量结果精确的优点.一、白光于涉彩虹图... 相似文献
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