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1.
以CF4和C6H6的混合气体作为气源,在微波电子回旋共振化学气相沉积(ECRCVD)装置中制备了氟化非晶碳薄膜(aC:F),并在N2气氛中作了退火处理以考察其热稳定性.通过傅里叶变换红外吸收谱和紫外可见光谱获得了薄膜中CC双键的相对含量和光学带隙,发现膜中CC键含量与光学带隙之间存在着密切的关联,在高微波功率下沉积的氟化非晶碳膜具有低的光学带隙和较好的热稳定性.
关键词:
氟化非晶碳膜
光学带隙
退火温度
热稳定性 相似文献
3.
采用微波电子回旋共振等离子体化学气相沉积(MWPECRCVD)方法,使用不同的源气体(CHF3CH4,CHF3C2H2,CHF3C6H6)体系制备了aC∶F∶H薄膜.由于CH4,C2H2,C6H6气体在等离子体中的分解反应不同导致了薄膜的沉积速率和结构上的差异.红外吸收谱的结果表明,用C6H6CHF3作为源气体沉积的薄膜中几乎不含H,而用C2H2CHF3所沉积的薄膜中的含氟量最高,其相应的CF振动峰位向高频方向偏移.薄膜的真空退火结果表明,aC∶F∶H薄膜的热稳定性除了取决于薄膜的CC键浓度外,还与CC键
关键词:
氟化非晶碳膜
电子回旋共振化学气相沉积
红外吸收光谱 相似文献
4.
硅磷酸铝分子筛SAPO—34稳定性的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
利用差热分析(DTA)、原位XRD技术研究了SAPO-34分子筛原粉样品的晶体结构在模板剂烧除过程以及环境气氛中的变化情况。采用1073K下的高温焙烧和水蒸汽处理以及甲醇转化试验跟踪考察了该分子筛在结构和催化性能上的稳定性。 相似文献
5.
柱后切换程序升温气相以谱法测定六氟化硫气体中痕量一氧化十?… 总被引:1,自引:0,他引:1
本共作提供了用柱后切换和程序曙技术测定纯六氟化硫气体中痕量有毒杂质S2F10O含量的气相色谱方法。用炎焰光度检测器检测,进样量为1mL时,S2F10O最小检测浓度为5×10^7(mol/mol)。 相似文献
6.
7.
稀土杂质对LaF3晶体本征热释光的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对纯净LaF3晶体及掺有0.1mol%稀土杂质的LaF3晶体进行了18-290K热释光谱的测量和讨论。在所有样品中都预测到了位于250-450nm的本征发光峰,一次发光在70-90K,另一次在120-135K。峰温度与热激活能均与所掺的稀土杂质的离子半径有关。第一次发生主要为单纯的本征发光,第二次主要为受稀土杂质扰动的本征发光。 相似文献
8.
9.
将快速 Monte Carlo方法与分子动力学方法相结合 ,研究了不同种类有机分子在 Al3P4 O3- 1 6 计量比的二维层状磷酸铝形成中的模板能力 .依据主 -客体之间非键相互作用能 (包括范德华能、氢键能和库仑能 ) ,可合理地解释已知实验现象 ,并能有效地预测出适于形成某一特定无机层结构的有机胺模板剂 .通过选择理论预测的有机胺分子作为模板剂 ,成功地合成了二维层状磷酸铝化合物 Al3P4 O1 6 · 1 .5 H3NC6 H1 0 NH3. 相似文献
10.