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利用我们设计的一套光学变换传输系统实现了激光束在超导靶上一定范围内扫描消融来淀积高Tc超导薄膜。实验表明用这种激光扫描消融方法可使大尺寸超导薄膜的厚度均匀性得到较大的改善。我们采用激光扫描半径为9mm在12mm×33mm的Y-ZrO2基片上淀积出零电阻温度Tc≥90K,临界电流密度Jc(零磁场,77K)≥1×106A/cm2,薄膜c轴择优取向,厚度均匀性较好的YBa
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