准分子激光扫描消融淀积大尺寸超导薄膜

利用我们设计的一套光学变换传输系统实现了激光束在超导靶上一定范围内扫描消融来淀积高T_c超导薄膜。实验表明用这种激光扫描消融方法可使大尺寸超导薄膜的厚度均匀性得到较大的改善。我们采用激光扫描半径为9mm在12mm×33mm的Y-ZrO₂基片上淀积出零电阻温度T_c≥90K,临界电流密度J_c(零磁场,77K)≥1×10⁶A/cm²,薄膜c轴择优取向,厚度均匀性较好的YBa _关键词：     

管式等离子体化学气相沉积质量转换动力过程的研究

本文对管式装置中等离子体化学气相沉积过程提出了一种数学描述方式,具体讨论了沉积过程中活性粒子产生频率、沉积速率和沉积效率等与电子密度、气体流速、气体压强等的相互关系,并对部分结果进行了理论解释。 关键词：     

直流辉光放电等离子体轴向动力学过程的研究

采用磁流体动力学理论,考虑了电子与中性粒子的非弹性碰撞,应用有限差分法研究了直流辉光放电氩等离子体的轴向动力学过程,得到了氩等离子体密度、输运速度、温度以及电位的轴向分布,发现了气体压强和电极间距的变化对阴极区的电子密度有较大的影响,而对阴极区的离子密度的影响甚微。 关键词：     

旋转激光淀积厚度均匀的超导薄膜

应用一光学变换传输系统，使得激光束通过该系统后可绕一定的半径旋转，旋转的激光束消融淀积大面积ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７超导薄膜。以其片中心处的超导薄膜厚度的９０％为均匀区域界限，激光旋转半径为０，３ｍｍ和９ｍｍ时，淀积的超导薄膜厚度均匀区域面积分别为０．１４ｃｍ＾２、０．８２ｃｍ＾２、６．７９ｃｍ＾２。