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对材料作显微观察分析时,需要对材料表面腐蚀或将材料减簿.因为腐蚀之后所显示的腐蚀图象,在一定程度上反应材料的组织和结构.在用透射电子显微镜观察材料内部组织和结构时,需要将材料减薄,制成数千埃至数万埃厚度的薄样品.近年来常用离子轰击方法腐蚀或减薄样品,离子轰击减薄方法能减薄其它方法难以减薄的材料,如多相材料、硬的脆的材料、烧结多孔材料,以及橡胶、高分子、生物等.离子轰击方法也可用于制备电子显微镜复型、投影[1]和高分辨电子显微术[2]. 我们参考了霍耶尔(Heuer)等人的工作[3],制作了一台冷阴极辉光放电型离子轰击装置,进… 相似文献
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在白宝石衬底上沉积的NbGe超导薄膜,其超导转变温度可达23K以上.用透射电镜观察其结构是必要的,但样品的制备过程始终存在复杂的工艺问题.到目前为止,除了用离子轰击减薄方法之外,国内外尚无其他方法. 我们使用国产LJ-Ⅱ型离子轰击减薄装置的性能样机(见图1)1),参考国内外的有关文献[1,2],探索了这一样品的制备工艺.NbGe超导薄膜由中国科学院物理研究所李林等同志制备[3],其透射电镜样品工艺制备如下: 把带有白宝石衬底的NbGe薄膜样品(以下简称样品)用光学树胶贴在载玻片上,NbGe一侧朝里,整个样品由载玻片支持、保护.从白宝石一侧进行… 相似文献
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