脉冲激光辐照p型硅单晶向n型转化

本文研究了p型硅单晶用红宝石脉冲激光辐照之后向n型转化的效应。这个效应与补偿杂质有关。实验结果表明:脉冲激光辐照之后补偿杂质浓度增加,补偿杂质磷分布发生变化,杂质补偿度大于7％的样品在被激光辐照的区域较容易转变为n型导电。这个效应与硅单晶中氧含量、晶面和晶体生长方式无关。 关键词：