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1.
简要介绍了低能辐照离子源的设计及性能。采用热阴极磁约束PIG放电,并用两极多孔加减速系统引出离子束。调试结果:离子束能量在200-2000eV范围内可调,最大引出束流150mA,灯丝工作寿命160h。  相似文献   
2.
LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用   总被引:1,自引:1,他引:0  
本文叙述了LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用。该装置离子能量80keV,氮离子束流强~10mA,注入面积~200cm~2,性能稳定,重复性好,可长期稳态运行。利用该装置对硬质合金、工具钢、钛合金、陶瓷及其它有色金属材料进行了氮离子注入实验,并取得了一些有应用价值的工艺结果,如离子注入使Co-WC机械夹固刀片的耐磨性能提高2—4倍。  相似文献   
3.
一、引 言 在科学技术领域中,离子源的应用越来越广泛,形成了一门独立的学科——离子应用科学。尤其是70年代以来由于离子注入技术应用到材料表面改性的研究取得进展,从而使离子注入技术得到发展。 离子注入材料表面改性是一门新技术,它的优点是离子注入不通过加热形成特定的原子混合,又能快速引入晶格缺陷,从而改变金属的微观结构及相成分,最后导致金属宏观性质的改变。  相似文献   
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