MEVVA金属离子源的研制与调试

本文介绍的ＭＥＶＶＡ源采用电动推进式可更换单阴极弧放电机构和加减速三栅引出系统，耐压水平在于５０ｋＶ，平均束流大于５ｍＡ，束班约Ф１５０，束的不均匀度小于±２０％。束的分布测量表明，在中心区有约Ф４０的平顶区。我们已获得了Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｃｕ，Ｙ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｔａ，Ｗ，Ｃ，ＬａＢ６等的离子束流及其最佳的运行条件。     

边角效应对双辉离子渗金属加工的影响

在采用双辉光放电实施的离子渗金属加工中，存在强烈的边角效应。从等离子体性能入手，实验研究了这种边角效应，并分析了该种边角效应产生的原因，讨论了它对双辉光放电离子渗金属加工的影响。     

高能氮离子注入人造金刚石的热稳定性

 叙述了在GLZ-100E工业离子注入机上采用20~60 keV氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。XPS分析表明，注入离子在人造金刚石颗粒表面形成了一层较为稳定的含氮混合物层。高温差热分析（DTA）的实验表明，经氮离子束处理的金刚石，其氧化起始温度T（onset）由原来的730 ℃左右提高到800 ℃以上，且随着氮注入剂量的增加而增加，氧化速度也随之变缓；差热分析还表明，随着温度的升高，金刚石首先转化为石墨（DTA曲线上表现为吸热），然后氧化燃烧生成CO₂（放热），而注入离子能量的增加，氧化温度的提高幅度略有下降。离子注入还使其高温石墨化性能显著改善。     

LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用

本文叙述了LZ-50离子注入装置及其在材料表面改性中的应用。该装置离子能量80keV,氮离子束流强～10mA,注入面积～200cm~2,性能稳定,重复性好,可长期稳态运行。利用该装置对硬质合金、工具钢、钛合金、陶瓷及其它有色金属材料进行了氮离子注入实验,并取得了一些有应用价值的工艺结果,如离子注入使Co-WC机械夹固刀片的耐磨性能提高2—4倍。     

MEVVA放电在材料表面改性上的应用

本文描述了金属蒸发真空弧放电的特点，阴极弧等离子体的形成过程，以及在加热蒸发电离方式相比ＭＥＶＶＡ放电的优越性。文章还叙述了建筑的ＭＥＶＶＡ离子源的实用参数，工作过程及ＭＥＶＶＡ等离子体源在全方位离子注入装置中的应用。     

氮离子注入Co—Wc硬质合金试样二次离子质谱分析

一、引言 已经证实,氮离子注入Co-WC可以改善磨损性能,这意味着越来越多的工具和部件可使用这种工艺进行处理。 为了检验和评价注入效果,仅仅用实验室的磨损试验是不够的,因为这种试验重复性较     

双元检测法动态测定PSII靶温度

研制了快速、准确、简单地测定ＰＳП靶温度的系统，提出了用双元检测法动态测量ＰＳП靶温度的方法，实验表明，双元检测法测量温度准确、可靠，且测汨系统成本低、稳定性好。     

升温Ta+N双注入对硬质合金性能的影响

利用升温离子注入技术 ,在PSII装置中实现了N +Ta双注入对硬质合金的有效表面改性 ,注入剂量为8× 10 1 7ions·cm- 2 ,注入表面温度分别为 10 0℃和 40 0℃。用显微硬度计测定硬度 ,表明试样表面显微硬度均有提高 ,其中 40 0℃试样表面显微硬度提高最大 ,高达 2 0 0 %。用俄歇电子能谱分析元素的浓度剖面 ,发现把温度从 10 0℃提高到 40 0℃ ,其注入层深度显著增加。X射线衍射测出了注入层表面形成的WN、TaN析出相。升温双元离子注入取得升温单元离子注入改性同样的效果 ,并获得比单元注入更好的复合优化强化层