| 100kev,20mA多磁极会切场离子源的研制与调试 |
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| 引用本文： | 钟溥,刘明哲.100kev,20mA多磁极会切场离子源的研制与调试[J].核聚变与等离子体物理,1991,11(2):116-119,128. |
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| 作者姓名： | 钟溥 刘明哲 |
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| 作者单位： | 核工业西南物理研究院，核工业西南物理研究院，核工业西南物理研究院，核工业西南物理研究院，核工业西南物理研究院，核工业西南物理研究院 四川，成都，四川，成都，四川，成都，四川，成都，四川，成都，四川，成都 |
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| 摘 要： | 一、引 言 在科学技术领域中,离子源的应用越来越广泛,形成了一门独立的学科——离子应用科学。尤其是70年代以来由于离子注入技术应用到材料表面改性的研究取得进展,从而使离子注入技术得到发展。 离子注入材料表面改性是一门新技术,它的优点是离子注入不通过加热形成特定的原子混合,又能快速引入晶格缺陷,从而改变金属的微观结构及相成分,最后导致金属宏观性质的改变。
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| 关 键 词： | 会切场 离子源 多磁极 |
DEVELOPMENT AND ADJUSTMENT OF A lOOkeV 20mA ION SOURCE WITH MULTI-MAGNETIC POLE CUSP FIELD |
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| ZHONG Pu LIU Mingzhe TAO Shihui CHEN Kan ZHANG Kaiwen RAO Shaoying.DEVELOPMENT AND ADJUSTMENT OF A lOOkeV 20mA ION SOURCE WITH MULTI-MAGNETIC POLE CUSP FIELD[J].Nuclear Fusion and Plasma Physics,1991,11(2):116-119,128. |
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| Authors: | ZHONG Pu LIU Mingzhe TAO Shihui CHEN Kan ZHANG Kaiwen RAO Shaoying |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Three beam synchronous implanter Cusp field Beam uniformity |
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