排序方式: 共有4条查询结果,搜索用时 109 毫秒
1
1.
用于材料表面改性的多功能等离子体浸没离子注入装置 总被引:5,自引:0,他引:5
详细叙述了新近研制的多功能等离子体浸没离子注入(PⅢ)装置,在装置设计中,考虑了等离子体产生手段、高压脉冲电源和真空抽气系统多项功能要求,把离子注入、涂敷和溅射沉积结合起来,该已实现了多种气体等离子体注入、气-固离子混合与注入、金属等离子体沉积与注入、离子束混合与离子束增强沉积等,以满足不同材料制成的不同零件对多种表面处理工艺的需要,初步应用结果证明,该装置对于改进45号钢、Ti-6Al0-4V和 相似文献
2.
利用轴对称PIC模型对轴承滚珠等离子体浸没离子注入(PIII)过程进行了数值模拟,对归一化电势的扩展情况进行了研究。在滚珠批量处理过程中,为了避免相邻滚珠周围鞘层的相互重叠对注入均匀性造成不良影响,对滚珠在靶台上摆放的最小距离进行了数值计算,计算结果表明:在电压为-40kV, 氮等离子体密度为4.8×109 cm-3,脉冲宽度为10μs时,滚珠摆放的最小距离应大于34.18cm。分析了滚珠圆周方向注入剂量的分布情况,针对静止滚珠改性处理后剂量分布很不均匀的问题,通过旋转靶台使滚珠注入均匀性明显得到改善。利用朗谬尔探针测量了滚珠周围鞘层扩展的情况测量,模拟结果和实验测量结果相吻合,最大相对误差小于8.4 %。 相似文献
3.
用一个取样离子源-E×B质谱系统测定了等离子体浸没离子注入中氮等离子体的质谱,测量出的氮等离子体的离子比率作为计算机模拟TAMIX程序的输入参数,以预测原子的浓度-深度分布曲线,氮注入的Ti6Al4V样品用扫描俄歇微探针(SAM)分析,获得了原子浓度-深度分布的试验数据,理论预测和用俄歇分析的结果比较,显示出很好的一致性. 相似文献
4.
在稳态磁镜装置中,用电子束和等离子体相互作用的方法产生了热电子氢等离子体。利用闪烁谱仪测量了高能电子轫致辐射能谱,从能谱的斜率得到热电子的温度为46keV。测量了热电子温度与电子束能量、氢气压强、磁场强度的关系,对测量结果进行了分析讨论。 相似文献
1