1:1分步亚微米光刻镜头

本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:1折反式系统的基础上,对该系统作了某些改变.实验结果表明,该镜头具有亚微米的光刻分辨率.     

一个非轴对称的光刻用光学系统

仅具一个对称面的光学系统一般难以校正象差。采用椭球焦点附近的成象特性和适当的球面校正系统,可以得出视场直径50～70mm,N.A.0.15～0.1,象质接近衍射极限的设计。     

小分子钌配合物的药学研究

小分子钌配合物是一类新颖的抗肿瘤试剂,也是一类很好的活性光敏剂,可用作生物探针探测核酸的化学结构与功能部位、用于生物活性羰基体系的成像以及用于阿尔茨海默症使Aβ聚集体的成像等。本文主要对小分子钌配合物的最近药学研究进展进行综述。