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| 1:1分步亚微米光刻镜头 | |
| 引用本文： | 王之江,孙保定,路敦武,江建忠.1:1分步亚微米光刻镜头[J].光学学报,1988(10). |
| 作者姓名： | 王之江 孙保定 路敦武 江建忠 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 (王之江，孙保定，路敦武)，中国科学院上海光学精密机械研究所(江建忠) |
| 摘 要： | 本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:1折反式系统的基础上,对该系统作了某些改变.实验结果表明,该镜头具有亚微米的光刻分辨率. |
| 关 键 词： | 光学光刻 亚微米光刻 镜头 分辨率 焦深 |
A submicron lithographic lens available to 1:1 stepper |
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| WANG ZHIJIANG,SUN BAODING,Lu DENGWU AND JIANG.A submicron lithographic lens available to 1:1 stepper[J].Acta Optica Sinica,1988(10). | |
| Authors: | WANG ZHIJIANG SUN BAODING Lu DENGWU AND JIANG |
| Abstract: | |
| Keywords: | optical microlithography submicron lithography lens resolution depth of focus |
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