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1.
本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求.  相似文献   
2.
本文介绍一个数值孔径0.4、视场10×10mm~2可用于1:1分步投影光刻机的镜头的光学设计及其模型实验结果.光学设计在Wynne-Dyson的1:1折反式系统的基础上,对该系统作了某些改变.实验结果表明,该镜头具有亚微米的光刻分辨率.  相似文献   
3.
本文报道了用改装后的BC002型相片传真机对图片进行密度切片与绘制等密度线的实验结果。该方法具有处理速度快,装置简单和良好的精度等优点,有一定的实用意义.  相似文献   
4.
光纤倏逝波生物传感器及其应用   总被引:9,自引:1,他引:8  
以光纤倏逝波原理,研制成功一台光纤倏逝波生物传感器。该传感器对纯净的Cy5荧光染料溶液的检测灵敏度达0.01μmo1/1;对浓度为0.01μmo1/1的嗜肺军团菌核酸样品的测量信噪比为4.61。所有检测结果与商品化生物芯片扫描仪同时检测得到的结果具有很好的一致性。  相似文献   
5.
路敦武  黄惠杰 《光学学报》1996,16(8):169-1172
报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果,以波长为248.3nm的KrF准分子激光为光源,以光管均匀器为主构成照明系统,采用带有平行平板为像差样正板的1:1折反射投影光刻物镜,在两种光刻胶上分别获得了0.6μm和0.5μm的光刻分辨率。  相似文献   
6.
用于卫星探测等仪器中的扫描镜,形状一般为三面或四面镜,技术要求很高,因此,加工工具和方法也需要相应的改进。粗加工时主要控制面与面的角度和对称尺寸;精抛时即要注意面形,又要控制面与面的角度与塔差。加工过程中检查面形主要用平面干涉仪,检查面间夹角和塔差使用两个光轴互相垂直的平面仪,加工结果,四反射面扫描镜最佳面间夹角误差优于1″,塔差和平行度以及面形均达到技术要求。  相似文献   
7.
 利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为Φ 50μm的无规位相板。台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24% ,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布。表明所采用的工艺可适用于大口径无规位相板的制作。  相似文献   
8.
本文叙述了使用大口径和大相对孔径的物镜制作一步彩虹全息图的优点,描述了非球面反射镜一步彩虹全息装置及其实验结果,并对一些有关的问题作了讨论.  相似文献   
9.
光学元件损伤在线检测装置及实验研究   总被引:11,自引:2,他引:11       下载免费PDF全文
 利用暗场成像原理,研制成功一套应用于大型激光装置的光学元件损伤在线检测装置,并在多程放大系统上进行了实验研究。与传统的检测手段相比,该检测装置可以实现对光学系统的在线检测,并可对损伤点的图像进行分析处理,最后提出通过减小像差和扩大检测范围的方法来改进该装置的检测效果。  相似文献   
10.
在单平板剪切干涉仪中,平板的劈角都被看作是测量误差的来源之一.本文指出了单平板剪切干涉仪中的一个新的效应——自补偿作用。这样,劈角不仅不是测量波面的误差来源,而且可以从两种状态的干涉条纹的读数中,同时求得波面曲率半径与平板劈角.  相似文献   
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