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报道用远紫外准分子激光进行亚微光刻的实验结果,以波长为248.3nm的KrF准分子激光为光源,以光管均匀器为主构成照明系统,采用带有平行平板为像差样正板的1:1折反射投影光刻物镜,在两种光刻胶上分别获得了0.6μm和0.5μm的光刻分辨率。 相似文献
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