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针对新一代红外凝视成像传感器,依据红外辐射能量传递和转换的物理过程,完成了对传感器各组成单元的物理效应建模.不同于以往成像模型的定性仿真,该模型实现了对系统各模块成像特性的定量描述,综合考虑了传感器的信号传递特性、空间传递特性、空间采样特性和时空噪音特性,构建了较为完善的高仿真度红外成像仿真模型.为验证仿真模型的有效性,搭建了有效性实验验证平台,获取了真实热像仪的性能曲线和输出图像.通过计算和比较仿真模型和真实热像仪性能曲线和输出图像相似程度,定量化评价了模型的仿真度,验证了仿真模型的有效性. 相似文献
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用N2-H2等离子体氮化GaAs衬底对ECR-PEMOCVD生长立方GaN的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
我们研究了采用电子回旋共振等离子体增强金属有机化学气相沉积(ECR-PEMOCVE)技术在GaAs(001)衬底上外延生长立方GaN的过程中衬底氮化条件对外延膜生长的影响.发现氮化时在氮等离子体中加入氢等离子体对于立方GaN薄膜生长具有显著影响.和氮化过程中不加入氢等离子体相比,氮化过程中加入氢等离子体生长出的外延膜其X射线衍射(XRD)半高宽(FWHM)可以最高降低40%以上.原子力显微镜(AFM)观察表明:在N2-H2混合等离子中氮化过的衬底上外延的缓冲层表面变得更为平滑,晶粒也变得粗大.最后,我们提出了一个化学模型对上述结果进行了分析和解释.. 相似文献
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徐茵 《核聚变与等离子体物理》1989,9(2):78-85,120
本文对托卡马克位形,用动力理论研究了非均匀热等离子体的ICRF快波模转换及有关的阻尼机制。结果表明,对于多种离子成分的等离子体,在离子-离子混杂共振层和二次谐波回旋共振层附近,存在快波和离子伯恩斯坦波(IBW)之间的模转换;模转换层附近的色散关系与k_(?),离子种类浓度以及等离子体密度有明显的相关性。适当选择这些参数可大大改善快波能量的吸收和吸收的局域性。而在一种离子成分的等离子体中、无模转换过程发生。 相似文献
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本文给出了在UCLA的Microtor装置上,用远红外(FIR)激光散射,对离子回旋共振频率范围(ICRF)的外驱动集体电子密度起伏的测量,并对这些结果进行了分析,发现实验结果直接与两种离子等离子体的快波模转换理论相符合。此外,也描述了本实验所用激光散射系统,简单地讨论了有待进一步探讨的问题。 相似文献
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本文推出了复宗量ξ=x+iy的误差函数的级数表达式。在这一基础上,对0≤y≤1,|x|≤10宗量区,给出了较高精度的等离子体色散函数Z及其微商Z'的计算方法。进而,对复平面ξ的各个区域,系统地研完了等离子体色散函数和相应的计算方法;在VAX—11/750计算机上得到了满意的结果,文章对这些结果,所用方法及其精度作了讨论;分别对y≥0和y<0,描述了Z和Z'的基本行为。 相似文献
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用于半导体加工的腔耦合—磁多极型ECR源的研究 总被引:5,自引:1,他引:4
本实验室研制出一台谐振腔耦合-多极场位形的电子回旋共振(ECR)微波等离子体源(MEP)。采用朗谬探针和离子能量分析器,测量了MEP中Ar等离子体的放电特性。实验结果表明,MEP能在很宽的运行参数范围,高效率地产生具有较高密度、较低离子温度和空间电位的大面积均匀等离子体,特别适合于半导体加工应用研究。 相似文献
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为了对GaN薄膜低温生长提供更多的活性氮,在一个腔耦合电子回旋共振(ECR)半导体加工装置上,用朗谬探针和二次微分理论,研究了氮ECR等离子体的实际电子能量分布。发现它们都是非麦克斯韦分布,含有高能电子,而且随着放电气压的下降和微波功率的增加,高能电子成分增加。 相似文献
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一、引 言 目前,受控核聚变装置都是以脉冲方式工作的,而且等离子体的行为极为复杂,因此在每次实验中,都需要多种诊断手段获取表征等离子体行为的诸物理参数。用人工方法进行实验数据的获取、处理和保存已远不能满足受控核聚变这种大规模实验的要求。随着电子计算机技 相似文献