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1篇
专业分类
物理学
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出版年
2009年
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1.
波导耦合纳米光栅结构的光学滤波和角分辨调谐特性
总被引:1,自引:0,他引:1
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宋娇阳
冯胜飞
张新平
刘红梅
宋晏蓉
《物理学报》
2009,58(9):6542-6548
利用干涉光刻技术制备了波导耦合纳米光栅结构,系统研究了其波导共振模式的角分辨调谐特性及其对光栅参数、入射光偏振特性的依赖关系,并作了相应的理论模拟.特别研究了光栅周期和厚度对波导共振模式角分辨调谐速率的影响.实验结果对于器件进一步应用于滤波、生物传感技术具有重要的指导意义.
关键词
: 波导耦合光栅 干涉光刻 角分辨 调谐速率
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