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系统研究了点缺陷对晶体硅中氧沉淀生成的影响,及点缺陷和氧沉淀对重掺硼直拉硅单晶p/p+外延片中铜沉淀的影响.样品先在不同的气氛下进行1250℃/60 s快速热处理,随后在750℃/8 h+1050℃/16 h常规热处理过程中引入铜沾污.通过腐蚀结合光学显微镜研究发现,以O2作为保护气氛时,p+衬底中的沉淀密度较小,以Ar和N2作为保护气氛时,重掺硼p+衬底中生成了高密度的沉淀,且在上述所有样品的外延层中均无缺陷生成.研究认为,以O2作为保护气时引入的自间隙硅原子(SiI)可以抑制沉淀的形成,而以Ar和N2作为保护气氛时引入的空位则会促进沉淀的生成,这是导致此差异的主要原因.另外,研究还发现,p/p+外延结构能很好地吸除硅片中的铜杂质,从而保持了外延层的洁净. 相似文献
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研究普通热处理和快速热处理工艺下直拉单晶硅中过渡族金属铜杂质对洁净区生成的影响. 通过腐蚀和光学显微镜研究发现,常规高-低-高三步洁净区生成热处理样品中, 第一步高温热处理前对样品铜沾污,样品中没有洁净区生成,高密度的铜沉淀布满了样品整个截面. 而第二步、第三步热处理过程中引入铜杂质不影响洁净区的生成. 研究表明,高温热处理过程中生成的铜沉淀不能溶解是导致洁净区不能形成的最主要原因. 另外,由于不同温度下热处理,导致引入铜杂质的平衡浓度不同,会在一定程度上影响洁净区的厚度. 对于快速热处理样品,可以得到相似的结果.
关键词:
直拉单晶硅
铜沉淀
洁净区 相似文献
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高效液相色谱分离纯化血管紧张素转换酶活性抑制肽 总被引:6,自引:0,他引:6
采用分步高效液相色谱法首次从菠菜核酮糖双磷酸羧化酶(英文缩写为Rubisco)的胃蛋白酶-胰酶复合酶水解产物中分离纯化了血管紧张素转换酶(ACE)活性抑制肽。水解产物经ODS柱分离得到活性组分,这些活性组分再依次经过氨基柱(PhA) 氰基柱(CN)和硝基苯乙基柱(NPE)4种色谱柱分离后,得到4种高度纯化的具有抑制ACE活性的多肽。经蛋白质序列自动分析仪测定,4种多肽的结构分别为MRWRD,MRW,IAYKPAG和LRIPVA。采用固相多肽合成法分别合成了这4种肽,并采用测定ACE活性抑制率的方法评价其 相似文献
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