用于先进半导体制程的光刻反向计算技术(ILT)

此篇论文将介绍一个用于半导体光罩上图样设计以及可用于实际生产的光刻反向计算技术（ILT）。在论文中将讨论有关ILT的最新发展，包括在超成像极限协助图样（SRAF）的生成，可增加制程宽容度的ILT，以及如何生成满足光罩生产标准的图样等方面。从内部的研究结果和客户的使用结果可以看出，ILT已经不再只是一种用于研究的工具，而是已经可以用于先进半导体制程的大规模生产。在对各个环节优化之后，ILT可以增加制程的宽容度，同时将光罩的成本控制在可以接受的水平。     

用于先进半导体制程的光刻反向计算技术(ILT)

此篇论文将介绍一个用于半导体光罩上图样设计以及可用于实际生产的光刻反向计算技术(ILT).在论文中将讨论有关ILT的最新发展,包括在超成像极限协助图样(SRAF)的生成,可增加制程宽容度的ILT, 以及如何生成满足光罩生产标准的图样等方面.从内部的研究结果和客户的使用结果可以看出,ILT已经不再只是一种用于研究的工具,而是已经可以用于先进半导体制程的大规模生产.在对各个环节优化之后,ILT可以增加制程的宽容度,同时将光罩的成本控制在可以接受的水平.     

多壁碳纳米管-酰基吡唑啉酮复合膜修饰电极测定异烟肼

报道了一种修饰电极--多壁碳纳米管-酰基吡唑啉酮复合膜修饰玻碳电极(MWNTs/HPMαFP/GCE ),研究了异烟肼在此修饰电极上的电化学行为及反应机理.与裸GCE和MWNTs/GCE相比,异烟肼在MWNTs/HPMαFP/GCE上的氧化峰电流和检测灵敏度大大提高,表明多壁碳纳米管和酰基吡唑啉酮产生了协同增效作用.在...     

动点的牵连运动分析与运动合成定理推证

点的合成运动分析中,复杂运动合理地分解和合成的关键在于牵连点的运动分析,牵连点是动系上与动点瞬时相重合的点,由于动点在动系上不断变迁,故牵连点随时间变动。本文指出,任一瞬时,牵连点均是动系上的某一“固定”点,仅随动系一起运动,采用解析方法提出了牵连点速度和加速度的一种表示方法,并推导了点的速度和加速度合成定理。本方法无需引入相对导数,易于学生理解。     

Ca8Mg（SiO4）4Cl2∶Eu2+,Ce3+,Mn2+绿色荧光粉发光性能及其应用研究

利用高温固相法,合成出Eu2+、Ce3+、Mn2+共掺的Ca8Mg(SiO4)4Cl2系列绿色荧光粉。通过XRD表征了这些荧光粉的结构,通过分子荧光光谱仪研究了它们的室温发光性能。首先调查了Eu2+掺杂的Ca8Mg(SiO4)4Cl2绿色荧光粉发光性能,随后引入Ce3+、Mn2+提高了Ca8Mg(SiO4)4Cl2∶Eu2+在紫外光区的吸收强度及绿光发射强度。最后将筛选出来的荧光粉与InGaN-LED芯片组装制作成单一绿光LED器件,利用Ca7.8215MgSi4O16Cl2∶0.0525Eu2+,0.056Ce3+,0.070Mn2+所制作成的绿光LED器件发光最强,在20mA电流激发下,此LED发很强的绿光,其电致发光光谱所对应的色坐标值为:x=0.26,y=0.55。     

超高效液相色谱串联质谱分析牛乳中24种磺胺类药物残留

建立同时测定牛乳中24种磺胺类药物多残留的超高效液相色谱-电喷雾串联质谱 (UPLC-ESI-MS/MS)分析方法.样品经改良的QuEChERS技术提取和净化,采用ACQUITY UPLCTM BEH C18色谱柱(100 mm × 2.1 mm, 1.7 μm ),0.25%乙酸水溶液和乙腈作为流动相进行梯度洗脱,超高效液相色谱分离,电喷雾离子源电离,正离子多反应监测模式进行定性和定量分析.24种药物在5～100 μg/kg浓度范围内线性良好,相关系数r均大于0.99,以5,25和50 μg/kg 3个浓度水平进行添加回收率实验,样品的平均回收率在64.2%～110 9%之间,相对标准偏差为3.2%～13.1%,方法的检出限为0.21～1.62 μg/kg.方法重现性好、灵敏度高、分析时间短、确证能力强,适用于牛乳中磺胺类药物多残留的确证检测.     

EAST等离子体电子温度涨落特征的初步实验研究

在EAST上使用相关电子回旋辐射(CECE)诊断系统观测到不同等离子体参数下的电子温度涨落特征,介绍了欧姆放电、L模放电及无ELM的H模放电的三种现象。在欧姆密度爬升等离子体中,电子温度涨落与电子密度之间表现出很强的相关性,即存在电子温度涨落处于较高水平的电子密度的窗口。初步分析表明,电子温度涨落变化是电子密度梯度和电子温度梯度共同影响的结果。不同辅助加热下的L模等离子体中,电子温度涨落的频谱表现出不同的行为。由于电子回旋共振加热(ECRH)的功率有限,其对电子温度的改变很小,而中性束注入(NBI)有较高的注入功率,能够明显提升电子温度,加热方式及加热功率大小引起的电子温度变化与电子温度涨落变化相关。在没有边缘局域模(ELM)的H模期间,可以观测到频率为18kHz的准相干模,其存在于归一化半径ρ=0.71～0.87较宽的径向范围内。     

纳米级镍铁同步处理Cr(VI)和p-NCB的研究

采用纳米级镍/铁双金属体系同步处理含Cr(VI)和p-NCB的废水,考察了反应温度、初始pH值和Cr(VI)、p-NCB浓度变化以及Ni(II)存在对处理效率的影响.结果表明:纳米级镍/铁双金属应用于Cr(VI)和p-NCB同步处理,可以取得良好的去除效率.反应产物为Cr(III)和苯胺.Ni(II)可以促进p-NCB的还原降解,而水中的Cr(VI)会与p-NCB起竞争作用,从而抑制p-NCB的还原降解.     

大孔PS/PVC互贯弱碱树脂对有机质的吸着作用

本文研究了由化学互贯及物理互贯法制得的大孔交联聚苯乙烯(PS)/聚氯乙烯(PVC)互贯弱碱树脂(分别称为DXP型和DXF型)对苯酚等有机质的吸着作用。结果表明,DXF吸酚受PH的影响行为与一般的弱碱树脂相似,而DXP的吸酚容量与PH的关系曲线呈S形。DXP特殊的吸酚行为归因于这种树脂两网互贯程度较大以致吸酚时有显著的协同效应,这种效应在不同的PH范围既可促进、也可减弱树脂对酚的吸着作用。DXF由于两网互贯作用小,协同效应不显著。协同效应也反映在DXP用于按蜜脱色及有机废水脱COD时有较好的效果。