1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试

 利用大面积光刻和腐蚀等工艺,研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为Φ 50μm的无规位相板。台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24% ,该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布。表明所采用的工艺可适用于大口径无规位相板的制作。     

无规位相板靶面均匀辐照光学系统研究

 为了探讨用无规位相板实现靶面均匀辐照光学系统的特点,首次进行了靶面在离焦情况下辐照均匀性的实验研究。实验结果表明:靶面在聚焦透镜焦面前后较大范围内均可得到均匀辐照,靶面上光强起伏的平均峰间距小于8μm。     

无规位相板在实现靶面均匀辐照方面的性能分析

数值分析的结果表明：尽管实际辐照靶面的激光光束其振幅和位相是涨落变化的，但是，使用无规位相板同样能改善光束辐照靶面的均匀化程度；无规位相板取不同的无规位相分布对靶面辐照均匀化的影响较小。还讨论了靶面离焦时其光强分布的变化情况。