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| 1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试 | |
| 引用本文： | 黄惠杰,路敦武,王润文,赵永凯,刘增水.1.06μm波段大口径无规位相板制作与性能测试[J].强激光与粒子束,2000,12(1):55-57. |
| 作者姓名： | 黄惠杰 路敦武 王润文 赵永凯 刘增水 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所，上海201800 |
| 基金项目： | 国家 8 63惯性约束聚变领域资助课题 |
| 摘 要： | 利用大面积光刻和腐蚀等工艺，研制成功了一块用于激光直接驱动约束聚变装置的1.06μm波段、口径为Φ 50μm的无规位相板。台阶几何深度实测值与理论值的相对偏差为1.24% ，该位相板可获得边缘陡直、近似平顶的焦斑光强分布。表明所采用的工艺可适用于大口径无规位相板的制作。 |
| 关 键 词： | 无规位相板 靶面均匀辐照 焦斑光强分布 |
| 收稿时间： | 1900-01-01; |
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