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采用一种新的实验测量方案,将金属加热单元与温度探测单元合二为一,间接获得了在半导体和微电子学MEMS领域内有重要用途的SiNx薄膜的导热系数、发射率、比热容和热扩散系数,并对实验结果进行了不确定度分析,为微电子电路设计和掩模成型工艺等提供了可靠的热物性数据. 实验结果表明,薄膜的导热系数、发射率、热扩散系数远比相应体材质低,而且还与温度、厚度有关,尺寸效应显著,而比热容则与体材质相差不大.
关键词:
微尺度传热
热物性参数
x薄膜')" href="#">SiNx薄膜
测量技术 相似文献
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研究了利用非线性控制理论控制混沌Lorenz系统的方法.通过施加bang-bang控制,可以把Lorenz系统的混沌运动转化成包含有短期和间断混沌态的多种不同形式的运动.特别是运用控制手段,可消除初始状态对运动不确定性的影响,使混沌运动转化并最终精确地维持在希望的平衡状态. 相似文献
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