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| SiNx薄膜热物性参数实验测量与分析研究 | |
| 引用本文： | 余雷,余建祖,王永坤.SiNx薄膜热物性参数实验测量与分析研究[J].物理学报,2004,53(2). |
| 作者姓名： | 余雷 余建祖 王永坤 |
| 摘 要： | 采用一种新的实验测量方案,将金属加热单元与温度探测单元合二为一,间接获得了在半导体和微电子学MEMS领域内有重要用途的SiNx薄膜的导热系数、发射率、比热容和热扩散系数,并对实验结果进行了不确定度分析,为微电子电路设计和掩模成型工艺等提供了可靠的热物性数据. 实验结果表明,薄膜的导热系数、发射率、热扩散系数远比相应体材质低,而且还与温度、厚度有关,尺寸效应显著,而比热容则与体材质相差不大. |
| 关 键 词： | 微尺度传热 热物性参数 SiNx薄膜 测量技术 |
Measurement and analysis of thermal properties of SiNx thin films |
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