白宝石(Al2O3)晶体基片用抛光液的研制及加工工艺

1　引　言白宝石 (Al2 O3)晶体基片是制备蓝色发光二极管及蓝色激光器的基础材料 ,其表面质量的好坏直接影响到器件的性能和成品率。因此Al2 O3晶体基片加工技术 ,如同其它半导体晶片加工技术一样 ,经历了不断发展和完善的过程 ,且成为晶体基片加工的一个新亮点。国内随着晶体衬底加工设备的引进 ,也引进了Al2 O3晶体基片的加工工艺。但是 ,其成本很高 ,受控于人。能否用国产设备和国产材料加工出合格的Al2 O3晶体基片 ,成为一个新的课题。本文就这一课题 ,将介绍Al2 O3晶体基片加工设备的选择、工艺特点、工艺流程、核心技术及原理 ,抛…     

Ba_3Y_2Cu_5O_(15-x)氧化物相的高分辨电子显微学研究

用JEM 200cx高分辨电子显微镜研究了Ba_3Y_2Cu_5O(15_x)氧化物中各相的晶体结构及其缺陷。超导相的[100]取向高分辨结构象中可清楚地看到Ba、Y、Cu、原子位置。基面上的亮点衬度的增强可能与氧空位有关。超导相的高分辨象中观察到点阵畸变以及(o10)、(031)畴界。shase-Ⅲ中观察到微畸及李晶结构。此外还观察到phase_Ⅱ和phase-Ⅳ的高分辨象。     

Y-Ba-Cu-O化合物的晶体结构畸变对超导性能的影响

本文研究了不同处理条件(烧结后不同冷却速度和在不同气氛中时效)产生的晶格畸变对Y-Ba-Cu-O化合物超导性能的影响。结果发现,随烧结后的冷速增加,正交层状钙铁矿相的三对X射线主衍射峰的强度逐渐发生反转现象,伴随超导性能的改变。同时,该化合物超导体与水蒸汽、CO等极性分子间存在着强烈的交互作用,使得正交相的衍射峰的强度发生相似变化,并可导致样品在液氮温区失超。这说明正交相的畸变与Y-Ba-Cu-O化合物的超导性能有着密切的关系。并由实验结果的分析和计算揭示了二者的定量关系。同时,用极化理论和晶体场模型就畸变对超导性能的影响作了定性的解释。