| 白宝石(Al2O3)晶体基片用抛光液的研制及加工工艺 |
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| 引用本文： | 张向东,赵海法,江晓平,张革.白宝石(Al2O3)晶体基片用抛光液的研制及加工工艺[J].人工晶体学报,2003,32(4):405-407. |
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| 作者姓名： | 张向东 赵海法 江晓平 张革 |
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| 作者单位： | 东北微电子研究所,沈阳,110031;沈阳科晶设备制造有限公司,沈阳,110179 |
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| 摘 要： | 1 引 言白宝石 (Al2 O3)晶体基片是制备蓝色发光二极管及蓝色激光器的基础材料 ,其表面质量的好坏直接影响到器件的性能和成品率。因此Al2 O3晶体基片加工技术 ,如同其它半导体晶片加工技术一样 ,经历了不断发展和完善的过程 ,且成为晶体基片加工的一个新亮点。国内随着晶体衬底加工设备的引进 ,也引进了Al2 O3晶体基片的加工工艺。但是 ,其成本很高 ,受控于人。能否用国产设备和国产材料加工出合格的Al2 O3晶体基片 ,成为一个新的课题。本文就这一课题 ,将介绍Al2 O3晶体基片加工设备的选择、工艺特点、工艺流程、核心技术及原理 ,抛…
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| 关 键 词： | 白宝石 A12O3 晶体基片 抛光液 研制 加工工艺 半导体 氧化铝 |
Development of Polishing Solution and Processing Technique for Al2O3 Substrates |
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