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结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义. 相似文献
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本文综述了图案化TiO2薄膜的制备技术,按图案的生成方式可分为图案的直接生成,掩膜复制法,硬质模板复制法三大类。可以通过针尖写蚀法、电子书写蚀法、激光写蚀法、自组装法、光电化学法直接制备图案。掩膜复制法包括光刻胶法、自组装膜法、光敏凝胶膜法等。硬质模板法也称软刻蚀技术,分为复制微模塑、转移微模塑、毛细管微模塑、微接触印刷法、光-盖印印刷等技术。对每类方法的优缺点作了适当评述,对今后图案化TiO2薄膜制备的研究方向提出了一些建议。 相似文献
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从硫酸钛Ti(SO4)2的水溶液出发, 采用化学浴沉积和电沉积法来制备图案化TiO2薄膜. 通过硫酸和双氧水来稳定Ti4+, 配制了pH=1.0的硫酸钛溶液和pH=1.6的过氧硫酸钛溶液. 结合微接触印刷术在硅基底上制得自组装膜预图案, 再化学浴沉积TiO2即可得规则图纹. 无机配体对钛溶液的稳定性和TiO2的晶型均有影响, 溶液的酸度关系到所得图案的质量. 过氧硫酸钛溶液同样适用于电沉积, 在导电玻璃基底上旋涂光刻胶后选择性曝光、显影, 通过控制阴极电位可获得高差达200 nm的清晰图案. 相似文献
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微接触印刷法直接制备图案化TiO2薄膜 总被引:2,自引:0,他引:2
A novel process to gain clear and high edge acuity micropatterns of TiO2 thin films by direct microcontact printing was presented in this paper. Using TiO2 sol as the “ink”, poly (dimethylsiloxane) elastomeric stamp was taken to transfer the TiO2 colloids to the substrate. The process is different from the traditional process using the SAMS to induce the deposition of TiO2. The new way increases the transferred efficiency of the micropatterned TiO2 thin films. The optical micrographs and SEM show that the micropatterned structures of TiO2 were microscale and uniform over a large area as well. 相似文献
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虽然浮值掩蔽比二值掩蔽有更好的语音分离效果,但是由于理想浮值掩蔽难以直接估计,现有的语音分离系统通常以理想二值掩蔽估计作为计算目标。我们提出了一个二值掩蔽到浮值掩蔽的泛化算法。由于实现浮值掩蔽估计的关键在于噪声能量追踪,我们首先采用指数分布刻画以混合谱和噪声能量以混合能量及二值掩蔽为观测的条件分布。其次,采用高斯马尔柯夫条件随机场刻画噪声估计在连续几帧内的关联。最后,采用马尔柯夫链-蒙特卡洛计算噪声能量最小均方误差估计并进一步计算浮值掩蔽。实验表明,相比于基于二值掩蔽估计的常规算法,我们所提出的算法在信噪比增益和客观感知质量两方面都有显著提高。 相似文献
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以醋酸镍、钛酸正丁酯为前驱物,聚乙二醇(PEG)为掺杂剂,制备了氧化镍-氧化钛(Ni O-Ti O2)的溶胶、干凝胶和薄膜,研究了掺杂分子量分别为200、400、1000、2000的PEG对Ni O-Ti O2薄膜电化学和光学性能的影响。对溶胶进行粒径和粘度测定,考察了干凝胶的热力学行为。溶胶在基底上浸渍提拉成膜,300℃煅烧后,采用双电位阶跃计时电流法测定Ni O-Ti O2薄膜电化学性能,分光光度计测定薄膜的透过率。其中掺杂PEG200的薄膜性能最好:其双层膜的注入电量是未掺杂单层膜的2.2倍,薄膜在550nm处着色态和无色态的透过率差值最大为54%,变色效率达到37.4cm2·C-1;掺杂PEG200可延长薄膜的循环寿命至2000圈以上。 相似文献