| 硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征 |
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| 引用本文： | 管飞,陈淼,张瑞,梁山,薛群基.硅基图案化TiO2表面微结构的制备和表征[J].高等学校化学学报,2005,26(4):599-602. |
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| 作者姓名： | 管飞 陈淼 张瑞 梁山 薛群基 |
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| 作者单位： | 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室, 中国科学院研究生院 兰州 730000 |
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| 基金项目： | 中国科学院资助项目;国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 结合微接触印刷术和TiO2沉积成膜技术,在单晶硅表面成功地制备了具有微米级图案结构的TiO2薄膜,并利用XPS,SEM和AFM对其表面性质和结构进行了表征.该硅基图案化TiO2微结构在光电转化、微机电和光催化等领域中的应用具有重要意义.
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| 关 键 词： | 微图案 微接触印刷术 TiO2微结构 |
| 文章编号： | 0251-0790(2005)04-0599-04 |
| 收稿时间： | 2004-08-31 |
Preparation and Characterization of Patterned TiO2 Microstructures on Silicon Surface |
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| GUAN Fei,CHEN Miao,ZHANG Rui,LIANG Shan,XUE Qun-Ji.Preparation and Characterization of Patterned TiO2 Microstructures on Silicon Surface[J].Chemical Research In Chinese Universities,2005,26(4):599-602. |
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| Authors: | GUAN Fei CHEN Miao ZHANG Rui LIANG Shan XUE Qun-Ji |
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| Institution: | State Key Laboratory of Solid Lubrication, Lanzhou Institute of Chemical Physics, Chinese Academy of Sciences, Lanzhou 730000, China |
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| Abstract: | Micro-patterned TiO_2 films on Si wafers was fabricated by selective deposition and microcontact printing technique. X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), scanning electron microscope(SEM) and atomic force microscopy(AFM) were used to examine the properties and microstructure of the patterned TiO_2 films. This patterned TiO_2 microstructures may be widely used in the field of photonics, optics, sensing and microelectromechanical system(MEMS). |
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| Keywords: | Micro-patterns Microcontact printing TiO_2 microstructures |
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