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采用固相反应法制备适用于红外探测器的高Tc超导靶材(YBCO), 直径100 mm, 性能为 Tc≥90 K, d≥4.5 g*cm-3, 平整度≤0.5 mm, 平面度≤0.1 mm, 无分层和裂纹; 通过直流磁控溅射制得YBCO/YSZ超导薄膜, 其性能为Tc≥90 K, Jc(77 K)>106 A*cm-2, ΔT<3 K; 以高Tc超导薄膜为灵敏元的十二元测辐射热计的技术指标为 响应波段1~3000 μm, 平均响应率R(500, 12, 1)>104 V*W-1, 平均噪声等效功率NEP<10-12 W*Hz-1/2, 平均探测率D*(500,12,1)>2×109 cm*Hz*1/2*W-1, 完成了对红外、亚毫米波和3 mm波成像的初步实验. 相似文献
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就Si为衬底的钇钡铜氧(分子式:Y1Ba2Cu3O7-δ ,δ≥05,简称YBCO)薄膜的半导体性质,及用于红外测辐射热计(Bolometer)的探 测性能进行了研究.通过测定温度电阻系数(TCR)和霍尔(Hall)系数,并采用XRD、拉曼散射 光谱等手段分析了YBCO半导体薄膜的微观结构和光谱响应特性,认为该薄膜是非制冷红外焦 平面的新型探测元材料.
关键词:
YBCO半导体薄膜
测辐射热计
温度电阻系数 相似文献
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