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低相干垂直扫描干涉技术是微结构形貌特征参数无损检测的有效手段。但当微结构的沟槽深宽比高于5∶1时,遮挡效应以及阶跃边缘复杂的衍射效应会导致本应仅包含一个包络的垂直扫描测量干涉信号异常,形成两个甚至多个包络,继而影响形貌检测结果。本文解析低相干垂直扫描干涉的测量过程,采用时域有限差分法对低相干显微干涉测量系统的显微成像、相干扫描测量过程进行数值仿真,计算待测微结构表面返回场及显微成像后的像面干涉场,得到低相干显微干涉信号。分别仿真了深宽比为5∶1、80∶3的硅基沟槽微结构的干涉信号,并与实验室自研的Linnik型低相干垂直扫描干涉系统对沟槽微结构的检测信号进行对比,匹配其高深宽比沟槽结构干涉信号的双包络及幅频双峰性的特征,验证所提方法的准确性。该仿真方法可应用于实测前对被测结构低相干显微干涉信号的先验性仿真计算,通过提前分析信号特征,为形貌复原算法的选取及改进指引优化方向。 相似文献
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从显微成像测量线宽的理论模型出发,分析了限制测量精度的边缘定位误差因素,基于阶跃边缘衍射光强微分的灵敏探测原理,提出一种平移差分的微结构线宽显微测量方法,即使用压电陶瓷微位移平台微量移动待测微结构沟槽,两步平移并采集三幅对沟槽清晰成像的显微图像,显微图像依次相减得到两幅差分图,将线宽测量转为差分脉冲距离测量,利用差分脉冲在阶跃边缘附近梯度变化灵敏度高的特点,突破衍射极限,提高线宽测量精度;再用纳米精度压电陶瓷位移台标定与显微成像系统有关的倍率测量常数,以压电陶瓷位移台的高精度保证测量结果的准确性。以可溯源计量部门、线宽为30.00μm的标准沟槽样板作为待测样品,10次测量得到线宽测量平均值30.03μm,标准差0.005μm,并对本方法进行了不确定度分析,最终得到合成不确定度为0.37%(k=1)。 相似文献
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A novel coordination polymer [Na2Pd(2,6-pydc)2(H2O)6]n (2,6-H2pydc = 2,6-pyri- dinedicarboxylic acid) has been synthesized and its crystal structure was determined by single-crystal X-ray diffraction. The crystal belongs to the monoclinic system, space group P21/c, with a = 11.962(2), b = 6.5552(13), c = 12.673(3) , β = 91.72(3)°, V = 993.3(3) 3, Z = 2, Mr = 590.68, Dc = 1.975 g/cm3, μ = 1.059 mm-1, F(000) = 592, the final R = 0.0211 and wR = 0.0454. In the crystal the Pd(II) ion adopts a distorted four-coordinated square-planar geometry and bonds to two bidentate 2,6-pyridinedicarboxylate molecules through caronyl oxygen and pyridine nitrogen atoms. The title complex exhibits a novel three-dimensional network structure. 相似文献
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采用数值模拟方法,研究了高度和宽度比为1∶10的狭长矩形腔内的水平自然热对流. 根据对瑞利数(Rayleigh数)Ra在104 <Ra<1011内情形的计算结果,将流动分为三个不同的区间:线性区、连续过渡区、1/5次幂律区. 虽然流量和努塞尔数(Nusselt数)Nu随瑞利数的变化都包括了三个参数演化区间,但从一个区间到另外一个参数区间的转变时并不是同步的,其中努塞尔数的转变总是超前流量的转变. 对比前人的研究发现,流量1/3次幂律的结果是由于瑞利数不够高所致. 此外,模拟结果也表明Siggers等的理论分析过高估计了热通量强度,实际的温度边界层内努塞尔数和瑞利数为1/5次幂律关系. 相似文献
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A novel Mn coordination polymers, Mn2(ADB)2(DMSO)4·DMSO (H2ADB=4,4′-azodibenzoic acid), has been prepared by solvothermal reaction and characterized by element analysis, IR spectra and single-crystal X-ray diffraction. The crystallographic data shows that the title complex crystallizes in monoclinic space group C2/c. Each Mn(Ⅱ) is six-coordinated to four O atoms from three ADB2- ligands, two oxygen atoms from two DMSO molecule and forms distorted octahedral coordination geometry. The Mn(Ⅱ) dimers by the carboxyl groups of the ADB2- ligands were interlinked together by the different carboxylate coordination modes of ADB2- ligands, to yield scaffolds with 2D network with 4.82 topological structures. CCDC: 745678. 相似文献
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湍流边界层噪声是飞机巡航过程中的主要外部噪声源,对舱内噪声水平的影响尤为重要。因此,对飞机机体表面湍流边界层噪声的研究具有重要意义。本文通过试验获得了某型民机巡航过程中的湍流边界层噪声,试飞工况为3500ft/0.78、3500ft/0.7、2500ft/0.67、1500ft/0.66。对实测数据进行分析,发现湍流边界层噪声与动压、边界层厚度等参数有关。同时,利用计算流体力学的方法得到了飞机机体表面的压力分布,并分析了压力梯度对湍流边界层噪声的影响。最后,基于工程预测方法对湍流边界层噪声进行了预测,对于不存在逆压梯度的区域,预测结果与试验结果吻合较好,仅部分频段存在一定偏差。通过对模型的参数进行优化,改善了预测结果。 相似文献